[發明專利]低電壓MEMS振蕩器

有效

• 申請號: 200680020132.4
• 申請日: 2006-03-31
• 公開（公告）號: CN101194421A
• 公開（公告）日: 2008-06-04
• 發明（設計）人: 讓－克洛德·西克斯
• 申請（專利權）人: NXP股份有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 朱進桂

1.一種電子裝置(100，200，300，400，500)，用于基于微機電系統產生電振蕩信號，所述電子裝置包括襯底(104)，致動裝置，相對于所述襯底(104)可運動的可運動元件(102)以及傳感器，

所述致動裝置適用于引起所述可運動元件(102)的運動，而所述傳感器適用于將所述可運動元件(102)的運動轉換成電振蕩信號，

其中所述致動裝置包括第一感應元件(106)和至少一個第二感應元件(108)，所述第一感應元件(106)固定在所述襯底(104)上，而所述第二感應元件(108)固定在所述可運動元件(102)上。

2.根據權利要求1所述的電子裝置(100，200，300，400，500)，所述傳感器包括固定在所述可運動元件(102)上的磁場誘導感應元件(112)和用于在所述磁場誘導感應元件(112)中提供DC電流的DC電流源。

3.根據任一前述權利要求所述的電子裝置(100，200，300，400，500)，所述傳感器包括固定在所述襯底(104)上的磁場感測感應元件(114)，用于把作用于所述襯底(140)上的變化磁力轉換成電振蕩信號。

4.根據任一前述權利要求所述的電子裝置(100，200，300，400，500)，其中所述第一感應元件(106)和所述至少一個第二感應元件(108)彼此電連接。

5.根據任一前述權利要求所述的電子裝置(500)，其中所述電子裝置(500)還包括電子放大電路(502)，所述電子放大電路(502)適用于從所述傳感器接收所述電振蕩信號，并且向所述致動裝置提供放大的電振蕩信號。

6.根據權利要求5在引用權利要求2時所述的電子裝置(500)，其中所述電子放大電路(502)還適用于接收所述DC電流信號，作為所述電子放大電路(502)的增益輸入信號。

7.根據權利要求5或6所述的電子裝置(100，200，300，400，500)，其中所述電子放大電路(502)包括相移和電平控制裝置，用于將電振蕩信號維持在固定的幅度。

8.根據任一前述權利要求所述的電子裝置(100，200，300，400，500)，其中所述裝置(100，200，300，400，500)包括交變電流源，用于向所述第一感應元件(106)和所述第二感應元件(108)提供交變電流。

9.根據任一前述權利要求所述的電子裝置(100，200，300，400，500)，其中所述感應元件(206，208)是電磁線圈。

10.根據任一前述權利要求所述的電子裝置(400)，其中，將所述微機電系統設置在封閉腔(402)中。

11.根據權利要求10所述的電子裝置(400)，其中所述封閉腔包括覆蓋襯底(404)和用于封閉所述腔(402)的密封元件(406)。

12.根據任一前述權利要求所述的電子裝置(100，200，300，400，500)，其中所述可運動元件是膜片。

13.一種基于襯底(104)上的微機電系統產生電振蕩信號的方法，所述方法包括：

-在固定在所述襯底(104)上的第一感應元件(106)和固定在可運動元件(102)上的至少一個第二感應元件(108)中提供交變電流，以引起所述可運動元件(102)的振動；

-將所述可運動元件(102)的所述振動轉換成所述襯底(104)上的交變磁力；

-將所述襯底(104)上的交變磁力轉換成電振蕩信號。

14.根據權利要求13所述的方法，其中轉換所述交變磁力包括用磁場感測感應元件(114)來感測所述交變磁力。

15.根據權利要求13至14中任意一項所述的方法，其中轉換所述振動包括提供經過在所述可運動元件(102)上設置的磁場誘導感應元件的DC電流。

16.根據權利要求13至15中任意一項所述的方法，所述方法還包括：放大所述電振蕩信號和向所述第一感應元件和所述至少一個第二感應元件提供所述放大的電振蕩信號。

17.根據權利要求16在引用權利要求15時所述的方法，其中使用所述DC電流控制所述電振蕩信號的放大。

18.根據權利要求13至17中任意一項所述的方法，所述方法還包括把電振蕩信號保持在固定的幅度。