[發明專利]金屬氮化物的選擇性濕蝕刻

無效

• 申請號: 200680019359.7
• 申請日: 2006-03-23
• 公開（公告）號: CN101248516A
• 公開（公告）日: 2008-08-20
• 發明（設計）人: 威廉·A·沃伊特恰克;迪安·德維爾夫
• 申請（專利權）人: 塞克姆公司
• 主分類號: H01L21/3213
• 分類號: H01L21/3213
• 代理公司: 北京邦信陽專利商標代理有限公司
• 代理人: 王昭林;崔華

1、一種濕蝕刻組合物包含：過氧化氫、有機鎓氫氧化物和酸。

2、根據權利要求1所述的組合物，其特征在于，酸為有機酸或無機酸，或其兩種或更多種的混合。

3、根據權利要求1所述的組合物，其特征在于，有機鎓氫氧化物不同于TMAH。

4、根據任一上述權利要求所述的組合物，其特征在于，有機鎓氫氧化物包含一種或多種的銨、鏻、鋶、氧化鋶、氫氧化咪唑鎓。

5、根據任一上述權利要求所述的組合物，其特征在于，酸包含甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、異丁酸、戊酸、乙基甲基乙酸、三甲基乙酸、檸檬酸、羥基乙酸、丁烷四羧酸、草酸、琥珀酸、丙二酸、檸檬酸、酒石酸、蘋果酸、五倍子酸、二十二烷酸、二十烷酸、十八烷酸、十六烷酸、十二烷酸、水楊酸、苯甲酸和3，5-二羥基苯甲酸，或其任意兩種或更多種組合。

6、根據任一上述權利要求所述的組合物，其特征在于，酸包含膦酸、次膦酸、磷酸或亞磷酸或其任意兩種或多種的混合。

7、根據任一上述權利要求所述的組合物，其特征在于，酸包含次氮基三亞甲基膦酸、羥基亞乙基二膦酸、苯基膦酸、甲基膦酸、苯基次膦酸，或其任意兩種或多種的混合。

8、根據任一上述權利要求所述的組合物，其特征在于，酸包含有機磺酸。

9、根據任一上述權利要求所述的組合物，其特征在于，酸包含鹽酸、硝酸、硫酸、亞硫酸、氫溴酸、高氯酸、氟硼酸、植酸、亞磷酸、羥基亞乙基二膦酸、次氮基三亞甲基膦酸、甲基膦酸、苯基膦酸、苯次膦酸、N-(2-羥乙基)-N′-(2-乙磺酸)(HEPES)、3-(N-嗎啉)丙烷磺酸(MOPS)、哌嗪-N，N′-二(2-乙磺酸)(PIPES)、甲磺酸、乙二磺酸、甲基苯磺酸、次氮基三乙酸、馬來酸、鄰苯二甲酸、乳酸、抗壞血酸、五倍子酸、磺基乙酸、2-磺基苯甲酸、對氨基苯磺酸、苯乙酸、三甲胺乙內酯、巴豆酸、乙酰丙酸、丙酮酸、三氟乙酸、氨基乙酸、環己烷羧酸、環己烷二羧酸、環戊烷二羧酸、己二酸和其兩種或更多種的混合或組合。

10、根據任一上述權利要求所述的組合物，其特征在于，相對于一種或多種硅、氧化硅、玻璃、PSG、BPSG、BSG、氮氧化硅、氮化硅和碳氧化硅，該組合物選擇性蝕刻金屬氮化物。

11、根據任一上述權利要求所述的組合物，其特征在于，該組合物是選擇性蝕刻關于光致抗蝕劑材料溶脹的金屬氮化物。

12、根據任一上述權利要求所述的組合物，其特征在于，有機鎓氫氧化物包含一種或多種的四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、甲基三苯基氫氧化銨、苯基三甲基氫氧化銨、芐基三甲基氫氧化銨、甲基三乙醇基氫氧化銨、四丁基氫氧化鏻、甲基三苯基氫氧化鏻、三己基四癸基氫氧化鏻、三丁基四癸基氫氧化鏻、[(CH₃)₃NCH₂CH(OH)CH₂N(CH₃)₃]²⁺[OH^-]₂，1-丁基-3甲基氫氧化咪唑鎓、三甲基氫氧化鋶、氫氧化三甲基氧化鋶、三甲基(2，3-二羥基丙基)氫氧化銨、[(C₆H₅)CH₂N(CH₃)₂CH₂CH(OH)CH₂N(CH₃)₂CH₂CH(OH)CH₂N(CH₃)₂CH(OH)CH₂N(CH₃)₂CH₂(C₆H₅)]⁴⁺[OH^-]₄、和[(CH₃)₃NCH₂CH(OH)CH₂OH]⁺[OH^-]、二氫氧化六甲銨。