[發明專利]液滴沉積裝置

無效

• 申請號: 200680018747.3
• 申請日: 2006-05-30
• 公開（公告）號: CN101184622A
• 公開（公告）日: 2008-05-21
• 發明（設計）人: 史蒂夫·坦普爾
• 申請（專利權）人: XAAR科技有限公司
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/16
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

1.一種形成用于液滴沉積裝置的部件的方法，該方法包括如下步驟：

形成壓電材料制成的平面體；

在所述平面體的第一側上形成第二材料區；

在所述平面體的與所述第一側相反的第二側中形成通道，該通道的深度足以使所述第二材料的區域露出；

在所述露出區域中穿過所述第二材料層形成噴嘴，使得該噴嘴與所述通道連通。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述第二材料是聚合物。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其中，通過沉積液體形式的第二材料而形成所述第二材料區。

4.根據權利要求2或3所述的方法，其中，所述第二材料是光刻膠。

5.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述第二材料區至少局部形成在所述平面體的所述第一側中的凹口內。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，所述凹口呈沿著溝槽方向延伸的溝槽的形式。

7.根據權利要求6所述的方法，其中，所述通道沿著垂直于所述溝槽方向的通道方向是細長的。

8.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，通過激光燒蝕而形成所述噴嘴。

9.，一種液滴沉積裝置，該液滴沉積裝置包括：壓電材料制成的平面體，該平面體在其第一側上形成有包含聚合材料的溝槽，所述平面體在與所述第一側相反的第二側中形成有多個通道，各通道使所述聚合材料的區域露出；和噴嘴，該噴嘴延伸通過所述聚合材料以與所述通道連通。

10.根據權利要求9所述的裝置，其中，所述通道沿著垂直于所述溝槽方向的通道方向是細長的。