[發(fā)明專利]真空泵裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680015396.0
• 申請日: 2006-05-02
• 公開（公告）號: CN101171428A
• 公開（公告）日: 2008-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 迪爾克·卡利施;羅伯特·施托勒;海因茨－迪特爾·奧登達爾
• 申請（專利權(quán)）人: 厄利孔萊博爾德真空技術(shù)有限責任公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/66;F04D29/64
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 張文;王艷江

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種真空泵裝置，尤其涉及一種渦輪分子泵裝置。

背景技術(shù)

真空泵，例如渦輪分子泵，連接到真空室殼體以在真空室內(nèi)產(chǎn)生真空。該連接是以連接到泵殼的泵凸緣以及相應(yīng)的諸如所謂卡爪的保持元件來實現(xiàn)。這些卡爪與泵凸緣連接，例如卡爪的突出部接合泵凸緣的溝槽或凹槽。卡爪借助于螺絲緊固到真空室殼體。因為這種真空泵重達65kg且位于泵殼內(nèi)的轉(zhuǎn)子能夠達到30,000至100,000rpm范圍內(nèi)的轉(zhuǎn)數(shù)，所以必須符合高標準的安全。由于大重量和高轉(zhuǎn)子速度，因此必須高度確定地保證真空泵在真空室殼體處的安全緊固以排除操作人員的危險。尤其在因轉(zhuǎn)子阻塞產(chǎn)生的損壞時，瞬間產(chǎn)生高力矩，該高力矩從轉(zhuǎn)子經(jīng)由定子傳遞到泵殼，再從泵殼經(jīng)由卡爪傳遞到真空室。由于這種高力矩，該高力矩可在數(shù)千Nm量級上，泵殼可相對于真空室殼體扭轉(zhuǎn)。這可引起真空室殼體在安裝卡爪的區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)損壞。真空室殼體損壞特別不利，因為除了替換真空泵，也必需修理真空室殼體。這不僅導(dǎo)致高成本，而且也可能使生產(chǎn)中斷較長時間。也有可能發(fā)生卡爪在泵凸緣處完全斷裂，且真空泵不再保持在真空室殼體，使得真空泵可掉落。除了損壞真空室殼體外，這還可對操作人員造成高度危險性的損傷。研究顯示，上述問題尤其可在凸緣直徑在160mm以上的時候發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是增加真空泵在損壞情況下的安全性。

該目的由具有權(quán)利要求1特征的本發(fā)明來實現(xiàn)。

本發(fā)明的真空泵裝置，尤其是渦輪分子泵裝置，特別地包括一種大重量和/或轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)的泵。該真空泵裝置具有其內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)子和定子的泵殼。連接到泵殼的是泵凸緣，泵凸緣也可直接地構(gòu)造成泵殼的一部分。提供保持元件以將泵殼緊固到真空室殼體。依據(jù)本發(fā)明，至少一個保持元件具有與真空室殼體配合的抗扭轉(zhuǎn)裝置。提供此種抗扭轉(zhuǎn)裝置，確保損壞時、特別是在轉(zhuǎn)子瞬間阻塞時，例如卡爪的保持元件不會因出現(xiàn)高扭矩而發(fā)生扭轉(zhuǎn)。這特別避免了泵凸緣和真空室殼體之間的連接松開，從而增強了安全性。進一步地，減小了真空室殼體在保持元件緊固區(qū)域內(nèi)的損壞風(fēng)險。

優(yōu)選地，設(shè)有至少一個具有本發(fā)明的抗扭轉(zhuǎn)裝置的保持元件。優(yōu)選地，設(shè)有兩個特別地相對設(shè)置的具有抗扭轉(zhuǎn)裝置的保持元件。在此，具有抗扭轉(zhuǎn)裝置的本發(fā)明的保持元件可與傳統(tǒng)單一保持元件組合。優(yōu)選地，設(shè)有多個具有抗扭轉(zhuǎn)裝置的保持元件，特別地(一起地)具有沿泵凸緣的圓周分布的至少三個保持元件。泵凸緣優(yōu)選地為環(huán)形形狀。

作為抗扭轉(zhuǎn)裝置，保持元件可具有銷，其優(yōu)選地接合設(shè)置在泵室殼體處的凹部或孔。附加地，保持元件優(yōu)選地具有緊固元件，例如螺絲。因此本發(fā)明的保持元件的優(yōu)選實施方式包括：抗扭轉(zhuǎn)裝置，例如呈接合凹部的銷的形式；以及緊固元件，其螺旋連接到設(shè)置于真空室殼體內(nèi)的螺紋。在另一優(yōu)選實施方式中，抗扭轉(zhuǎn)裝置也設(shè)計為緊固元件，特別是螺絲，使得本發(fā)明的保持元件具有至少兩個特別是相同設(shè)計的緊固元件。因為兩個緊固元件接合位于真空室殼體內(nèi)的例如螺紋孔的凹部，所以緊固元件既用于緊固目的也用于抗扭轉(zhuǎn)目的。

連接到泵殼或者形成為泵殼一部分的泵凸緣優(yōu)選地包括環(huán)形溝槽。這種溝槽可以不連續(xù)，但優(yōu)選地沿整個圓周延伸。保持元件優(yōu)選地具有接合溝槽的凸部，所述凸部特別是呈環(huán)形段的形狀。因為無需改變保持元件的位置就可使泵殼相對于真空室殼體的位置改變，所以這基本上便利于安裝泵。

優(yōu)選地，溝槽的半徑優(yōu)選地對應(yīng)凸部的半徑。特別地，這具有如下優(yōu)點，即當損壞情況下出現(xiàn)高力矩時，一旦因泵凸緣和凸部之間存在的力矩而作用的力大于該區(qū)域內(nèi)的摩擦力時，泵殼就可相對于保持元件旋轉(zhuǎn)。

以下參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行詳細描述。

附圖說明

在附圖中：

圖1是真空泵裝置的示意性截面圖，

圖2是泵殼的示意性立體圖，

圖3是本發(fā)明的保持元件的示意性立體圖，以及

圖4是具有根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的保持元件的真空泵裝置在損壞情況下的一部分的示意性俯視平面圖。

具體實施方式

真空泵裝置包括泵殼10，其內(nèi)設(shè)置有繞縱軸線12旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子14。連接到泵殼10的定子葉片16設(shè)置于各個轉(zhuǎn)子葉片14之間。轉(zhuǎn)子14通過連接元件18剛性地連接到驅(qū)動軸20。定子16通過連接元件22對應(yīng)地剛性地連接到泵殼10。

為了在真空室24內(nèi)產(chǎn)生真空，泵殼緊固到位于開口28區(qū)域內(nèi)的真空室殼體26。

為了緊固，泵殼具有泵凸緣30，泵凸緣30在所示實施方式中為環(huán)形的。泵凸緣30具有L形橫截面，從而形成環(huán)形的溝槽32。