[發明專利]用銅或銀涂覆基質的方法

無效

• 申請號: 200680015108.1
• 申請日: 2006-04-26
• 公開（公告）號: CN101171359A
• 公開（公告）日: 2008-04-30
• 發明（設計）人: D·朗格;M·塞弗特
• 申請（專利權）人: ESK陶瓷有限及兩合公司
• 主分類號: C23C14/14
• 分類號: C23C14/14;C23C14/26;C23C14/24;F27B14/10
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所
• 代理人: 吳鵬;馬江立

1.用于在采用陶瓷蒸發舟的情況下用從銅和銀中選出的金屬通過蒸發金屬來涂覆基質的方法，其特征為：采用由導電的陶瓷材料制成的蒸發舟，所述蒸發舟進行蒸發的表面設有下列涂層之一：

a)由至少一種元素周期表第4至6副族的過濾金屬和/或其硼化物組成的涂層，

b)由待蒸發金屬和至少一種元素周期表第4至6副族的過渡金屬和/或其硼化物的混合物組成的涂層，

c)由至少一種元素周期表第4至6副族的過渡金屬和/或其硼化物組成的第一涂層和施加在第一涂層上的由待蒸發金屬組成的涂層。

2.按權利要求1所述的方法，其特征為：采用由熱壓的二硼化鈦和氮化硼以及必要時還有氮化鋁組成的蒸發舟。

3.按權利要求1和/或2所述的方法，其特征為：采用涂層平均厚度為1-750μm，優選為15-500μm，進一步優選為50-150μm的蒸發舟。

4.按上述權利要求之至少一項所述的方法，其特征為：作為元素周期表第4至6副族的過渡金屬，采用鈦、鋯、釩、鉬和鎢。

5.按上述權利要求之至少一項所述的方法，其特征為：采用具有由鎢和/或硼化鎢組成的涂層的蒸發舟。

6.按上述權利要求之至少一項所述的方法，該方法用于用銅或銀通過真空帶式蒸鍍法來涂覆柔性基質。

7.用在按權利要求1至6之至少一項所述的方法中的由導電陶瓷材料組成的蒸發舟，所述蒸發舟進行金屬蒸發的表面設有下列涂層之一：

a)由至少一種元素周期表第4至6副族的過渡金屬和/或其硼化物組成的涂層，

b)由待蒸發金屬和至少一種元素周期表第4至6副族的過渡金屬和/或其硼化物的混合物組成的涂層，

c)由至少一種元素周期表第4至6副族的過渡金屬和/或其硼化物組成的第一涂層和施加在第一涂層上的由待蒸發金屬組成的涂層。

8.按權利要求7所述的蒸發舟，其特征為：所述導電陶瓷材料由二硼化鈦和氮化硼以及必要時還有氮化鋁組成。

9.按權利要求7和/或8所述的蒸發舟，其特征為：所述涂層具有1-750μm，優選地15-500μm，進一步優選地50-150μm的平均厚度。

10.按權利要求7至9之至少一項所述的蒸發舟，其特征為：所述元素周期表第4-6副族的過渡金屬從鈦、鋯、釩、鉬和鎢中選擇。

11.按權利要求7至10之至少一項所述的蒸發舟，其特征為：所述蒸發舟設有由硼化鎢組成的涂層。