[發明專利]掩膜容器

無效

• 申請號: 200680014669.X
• 申請日: 2006-02-27
• 公開（公告）號: CN101166672A
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發明（設計）人: A·M·蒂本;C·安德森;B·威斯曼
• 申請（專利權）人: 安堤格里斯公司
• 主分類號: B65D43/14
• 分類號: B65D43/14;B65D45/16;B65D6/28
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 任永武

相關申請案

本申請案主張基于2005年2月27日提出申請的第60/657,314號美國臨時申請案的權利，該美國臨時申請案以引用方式全文并入本文中。

技術領域

本發明涉及可密封的鉸鏈式可閂鎖容器，其用于存儲及運輸在制造集成電路中所用的掩膜。

背景技術

例如集成電路等半導體組件是由半導體晶片制成。為此，使用相當易脆的掩膜(或光罩)來投影及界定這些結構在最終產品中的尺寸及位置。這些掩膜一般呈實質平整的襯底形式。在制造過程中，小的異物微粒可能會沉降于掩膜或襯底上，因而損壞掩膜或在制產品，或者以其它方式干擾制造過程。這些異物存在于存儲及運輸掩膜的環境中。由于掩膜具有易脆的性質，且需要防止異物微粒粘附至掩膜上，因而使用容器。這些容器具有保護掩膜不被損壞及提供無塵微環境的雙重作用。掩膜容器傳統上一直是由單獨的頂罩或蓋與底部或基座制成。這些部分是分別模制而成，其中每一部分均具有與其背面成一體的鉸鏈部。然后，利用一金屬鉸銷而完成的鉸鏈對容器進行組裝。當頂罩合上以緊閉牢固該包裝時，用手滑動位于基座件正面導軌上的一可用手滑動的C形簡單閂鎖，使其嚙合頂罩上的凸耳。鉸鏈部傳統上是由與頂罩及基座相同的材料制成，并通常存在塑料對塑料摩擦接觸以及塑料對金屬摩擦接觸，而此可造成磨損并產生微粒。因此，非常希望提供一種能將蓋自動緊固至基座上的閂鎖，以及一種可通過最少的組裝步驟并入的鉸鏈，其不存在塑料對塑料或塑料對金屬摩擦接觸且因而不會相伴地產生微粒。

發明內容

本發明通過提供一種用于存儲及運輸掩膜的容器、以及一種通過使用重迭模塑技術依序模制容器組件及一活運的鉸鏈來制作容器的方法，而某程度地滿足本行業中的需求。該容器包含一蓋、一基座、一鉸鏈及一閂鎖機構。在一實施例中，該鉸鏈是由一第一材料通過射模成形制成。將該鉸鏈放置于一模具中，以在上面重迭模塑該基座及罩。由此通過一第二射模成形而使基座及蓋整體形成至鉸鏈上-或者通過重迭模塑而機械連接至鉸鏈上。該鉸鏈具有一活運的鉸鏈部，其以無摩擦或磨損性接觸作用。包含一構造成C形閂鎖架形式的滑動的閂鎖部件以及一整體形成的彈簧的該閂鎖機構滑動地嚙合基座正面上的一軌道。彈簧使閂鎖部件偏置至一原始正常位置，即“閂鎖”位置。在將蓋合到基座上過程中，當蓋的一斜坡形延伸部(即一凸輪面)壓抵閂鎖的一斜坡形斜面(一配合凸輪面)時，該閂鎖可自動地致動，亦即移出閂鎖位置而接納并閂鎖頂罩。向下移動的蓋延伸部的力會接觸一凸輪面，并將這兩個閂鎖架中的每一者向外推動，直至蓋的凸耳延伸部進入閂鎖架中的凹口中為止，從而在彈簧力的作用下將閂鎖架釋放至其原始位置。當蓋延伸部處于此種位置時，其便與軌道對齊，且閂鎖彈簧將閂鎖機構保持于一鎖定且合上位置。閂鎖的另一朝下的斜坡形斜邊則可用于通過一致動器從其下面向上運動而自動地打開閂鎖機構。

本發明的一特征及優點在于，該閂鎖機構可用手或用機械手操作，并使用從下面向上延伸或從上面向下延伸的簡單的垂直移動致動臂用機械手進行操作。

本發明的一特征及優點在于部件數量最少。例如，每一閂鎖機構除了所利用頂罩及基座的部分之外僅由一個額外的組件組成。此使其簡單、易于清理，并使例如組裝成本等制造成本最小化。

本發明的一特征及優點是在鉸鏈中不存在摩擦組件。

本發明較佳實施例的一特征及優點在于，這兩個閂鎖架均向內偏置至其閂鎖位置，有利于通過將一具有凸輪面的致動器插于這兩個閂鎖架之間而用機械手致動打開，其中這些凸輪面可通過從容器上面或下面開始的簡單垂直運動而同時向外推動這兩個閂鎖架。

本發明較佳實施例的一特征及優點在于，閂鎖架具有凸輪面，這些凸輪面即可由頂蓋上的一致動器凸輪部致動，也可用機械手致動。而且，這些閂鎖易于用手操作。

結合附圖閱讀下文說明，本發明的這些及其它目的、特征及優點將變得一目了然。

附圖說明

圖1為根據本發明容器的一實施例在處于合上位置時的立體圖；

圖2為圖1所示容器在處于打開位置時其內部的立體圖；

圖3為圖1所示容器在處于打開位置時其外部的平面圖；

圖4為圖1所示容器在處于打開位置時的側視剖面圖；

圖5為一立體圖，其例示在容器局部打開且閂鎖架處于其正常位置時閂鎖機構的功能；

圖6為一立體圖，其例示在頂罩開始嚙合基座、閂鎖機構使閂鎖架向外偏移時閂鎖機構的功能；

圖7為一立體圖，其例示在頂罩合在基座上、閂鎖機構的閂鎖架返回至其正常位置時閂鎖機構的功能；

圖8為鉸鏈在并入容器中之前的視圖；

圖9為鉸鏈在并入容器中之前的視圖；