[發(fā)明專利]路徑規(guī)劃方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680014059.X
• 申請(qǐng)日: 2006-04-12
• 公開（公告）號(hào): CN101166949A
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 伊恩·威廉·麥克萊恩;若弗雷·麥克法蘭;戴維·斯文·瓦利亞塞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 瑞尼斯豪公司
• 主分類號(hào): G01B21/04
• 分類號(hào): G01B21/04;G05B19/402
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 張煥生;謝麗娜

1.一種用于規(guī)劃設(shè)備軌跡的方法，所述設(shè)備安裝在座標(biāo)定位設(shè)備上，其中，可操作所述座標(biāo)定位設(shè)備用于產(chǎn)生所述設(shè)備與所述座標(biāo)定位設(shè)備的表面之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，并且其中，該設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)器，用于產(chǎn)生繞兩個(gè)或更多個(gè)軸線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述方法包括如下步驟：

對(duì)于給定的軌跡，判斷所述設(shè)備繞該設(shè)備旋轉(zhuǎn)軸線的角速度或加速度是否將超過預(yù)定閾值；

并且如果超過，則調(diào)整參數(shù)，使得所述設(shè)備繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的角速度或加速度不超過所述預(yù)定閾值；

2.根據(jù)權(quán)利要求1方法，其中所述設(shè)備包括探頭。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的方法，其中在所述探頭上安裝表面檢測(cè)裝置。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)的方法，其中所述調(diào)整參數(shù)的步驟包括選擇新的軌跡，使得所述設(shè)備繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)速度或加速度低于所述閾值。

5.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其中所述新的軌跡是平行于先前軌跡的偏移。

6.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其中所述設(shè)備是探頭，該探頭安裝有表面檢測(cè)裝置，并且其中先前軌跡是待由所述表面檢測(cè)裝置測(cè)量的表面輪廓的標(biāo)稱中心線，并且所述新的軌跡是平行于所述中心線的偏移。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任何一項(xiàng)的方法，其中所述調(diào)整參數(shù)的步驟包括重新取向所述表面輪廓。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)的方法，其中所述設(shè)備安裝有裝置，并且所述調(diào)整參數(shù)的步驟包括改變所述裝置的角速度。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)的方法，其中所述設(shè)備包括探頭，該探頭安裝有探針，該探針具有測(cè)頭，其中所述調(diào)整掃描參數(shù)的步驟包括改變所述測(cè)頭的長(zhǎng)度。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任何一項(xiàng)的方法，其中所述設(shè)備包括探頭，該探頭安裝有非接觸式探針，其中所述調(diào)整掃描參數(shù)的步驟包括改變所述非接觸式探針的偏移。

11.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中所述探針通過將所述表面檢測(cè)裝置驅(qū)動(dòng)到表面輪廓上的標(biāo)稱要求的各位置點(diǎn)來(lái)移動(dòng)該表面檢測(cè)裝置，并且其中，選擇這些點(diǎn)之間的間隙，以使得所述探頭繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的角速度或加速度不超過所述預(yù)定閾值。

12.一種用于規(guī)劃設(shè)備軌跡的裝備，所述設(shè)備安裝在座標(biāo)定位設(shè)備上，其中，可操作所述座標(biāo)定位設(shè)備用于產(chǎn)生所述設(shè)備與所述座標(biāo)定位設(shè)備的表面之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，并且其中，該設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)器，用于產(chǎn)生繞兩個(gè)或更多個(gè)軸線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述裝備包括執(zhí)行以下步驟的計(jì)算裝置：

對(duì)于給定的軌跡，判斷該設(shè)備繞該設(shè)備旋轉(zhuǎn)軸線的角速度或加速度是否將超過預(yù)定閾值；

并且如果超過，則調(diào)整參數(shù)，使得該設(shè)備繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的角速度或加速度不超過所述預(yù)定閾值。

13.一種利用安裝在在座標(biāo)定位設(shè)備上的探頭上的表面檢測(cè)裝置來(lái)測(cè)量表面輪廓的方法，其中可操作所述座標(biāo)定位設(shè)備用于產(chǎn)生所述探頭和所述表面輪廓之間沿著軌跡的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，并且其中所述探頭包括驅(qū)動(dòng)器，用于產(chǎn)生該表面檢測(cè)裝置繞兩個(gè)或更多個(gè)軸線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使得可操作該驅(qū)動(dòng)器來(lái)相對(duì)于該表面輪廓的表面定位所述表面檢測(cè)裝置，以使得能夠圍繞該表面輪廓進(jìn)行測(cè)量，該方法包括如下步驟：

對(duì)于給定的軌跡，判斷所述探頭繞該探針旋轉(zhuǎn)軸線的角速度或加速度是否將超過預(yù)定閾值；

并且如果超過，則調(diào)整掃描參數(shù)，使得所述探頭繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的角速度或加速度不超過預(yù)定閾值。

14.一種利用安裝在座標(biāo)定位設(shè)備的探頭上的表面檢測(cè)裝置測(cè)量表面輪廓的方法，其中可操作所述座標(biāo)定位設(shè)備用于產(chǎn)生所述探頭和所述表面輪廓之間沿著軌跡的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，并且其中所述探頭包括驅(qū)動(dòng)器，用于產(chǎn)生所述表面檢測(cè)裝置繞兩個(gè)或更多個(gè)軸線的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使得可操作該驅(qū)動(dòng)器來(lái)相對(duì)于該表面輪廓的表面定位所述表面檢測(cè)裝置，以使得能夠圍繞該表面輪廓進(jìn)行測(cè)量，該方法包括如下步驟：

對(duì)于給定的軌跡，判斷所述表面檢測(cè)裝置的縱軸線是否將變成平行于或基本平行于所述探頭的旋轉(zhuǎn)軸線；

并且如果是，則選擇新的軌跡，使得該表面檢測(cè)裝置的所述縱軸線將不變成平行于或基本平行于所述探頭的旋轉(zhuǎn)軸線。

15.根據(jù)權(quán)利要求14的方法，其中所述表面檢測(cè)裝置包括探針，所述探針具有探針末端，并且其中所述表面檢測(cè)裝置的所述縱軸線從所述探針末端延伸到該探頭的軸線，所述縱軸線垂直于該探頭的所述軸線。