[發明專利]測量射束角的方法有效
| 申請號： | 200680010661.6 | 申請日： | 2006-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN101151700A | 公開（公告）日： | 2008-03-26 |
| 發明（設計）人： | A·芮 | 申請（專利權）人： | 艾克塞利斯技術公司 |
| 主分類號： | H01J37/304 | 分類號： | H01J37/304 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 張雪梅;張志醒 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測量 射束角 方法 | ||
1.一種離子注入系統，包括：
可運作來形成離子束的離子注入機；
測量裝置，其具有與其相關的平面，該測量裝置又包括：
第一細長傳感器，其中，第一細長傳感器沿著測量裝置的平面在第一方向延伸，且其中，第一細長傳感器可運作來感測離子束的一個或多個特性；以及
第二細長傳感器，其中，第二細長傳感器沿平面相對于第一細長傳感器成傾斜角度延伸，且其中，該第二細長傳感器進一步可運作來感測離子束的一個或多個特性；
平移機構，其可運作地耦接到離子注入機及測量裝置，其中，平移機構可運作以在大致上垂直于第一細長傳感器且大致上平行于該平面的方向來平移測量裝置通過離子束路徑；以及
控制器，其被配置為控制平移機構并且接收所感測的離子束的一個或多個特性，其中，該控制器可運作以根據，至少部分地根據，測量裝置的位置以及由第一傳感器及第二傳感器所感測的離子束的一個或多個特性來確定離子束相對于測量裝置的平面的第一射束角度和第二射束角度。
2.權利要求1的系統，其中，第一細長傳感器及第二細長傳感器各包括狹縫法拉第元件(Slot?Faraday)。
3.權利要求1的系統，其中，第二細長傳感器的長度大于或大致等于第一細長傳感器的長度。
4.權利要求1的系統，其中，傾斜角度的范圍介于與第一細長傳感器相距三十至六十度之間。
5.權利要求1的系統，其中，平移機構包括步進馬達，其中，步進馬達可運作來提供信號到控制器，指示測量裝置的位置。
6.權利要求1的系統，其中，平移機構可運作以恒定速率平移測量裝置，其中，測量裝置的位置由控制器根據該恒定速率下所經過的時間來確定。
7.權利要求1的系統，其中，離子注入機包括保持工件的基座或夾盤，且其中，平移機構進一步可運作地耦接到基座或夾盤。
8.權利要求1的系統，其中，測量裝置的平面通常由測量裝置的表面所定義，且其中，第一傳感器及第二傳感器可運作地耦接到測量裝置的表面。
9.一種離子束角度測量裝置，其包括：
第一細長傳感器，其中，第一細長傳感器沿著測量裝置的平面在第一方向延伸，且其中，第一細長傳感器可運作來感測離子束的一個或多個特性；
第二細長感測器，其中，第二細長傳感器沿著測量裝置的平面相對于第一細長傳感器成傾斜角度延伸，且其中，第二細長傳感器進一步可運作來感測離子束的一個或多個特性；以及
平移機構，其可運作地耦接到測量裝置，其中，平移機構可運作以大致上垂直于第一細長傳感器且大致上平行于該平面的方向來平移測量裝置通過離子束路徑。
10.權利要求9的裝置，其中，第一細長傳感器及第二細長傳感器各包括狹縫法拉第元件。
11.權利要求9的裝置，其中，第二細長傳感器的長度大于或大致等于第一細長傳感器的長度。
12.權利要求9的裝置，其中，傾斜角度的范圍介于與第一細長傳感器相距三十至六十度之間。
13.權利要求9的裝置，其中，平移機構包括步進馬達，其中，步進馬達可運作來提供指示測量裝置的位置的信號。
14.權利要求9的裝置，還包括用以保持工件的基座或夾盤，且其中，基座或夾盤還可運作地耦接到平移機構。
15.權利要求9的裝置，其中，測量裝置的平面通常由測量裝置的表面所定義，且其中，第一傳感器及第二傳感器可運作地耦接到測量裝置的表面。
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