[發明專利]自動材料處理系統

有效

• 申請號: 200680010374.5
• 申請日: 2006-03-27
• 公開（公告）號: CN101151197A
• 公開（公告）日: 2008-03-26
• 發明（設計）人: 村田正直
• 申請（專利權）人: 亞仕帝科技股份有限公司
• 主分類號: B65G1/00
• 分類號: B65G1/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京泛誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 楊本良;文琦

技術領域

本發明涉及一種自動材料處理系統，用于管理在至少一個存儲單元和多個制造設備之間根據控制器的指令通過多個輸送設備輸送的被輸送物體。

背景技術

在諸如半導體和液晶的制造工廠中使用自動材料處理系統(AMHS)，由于空氣中的細小顆?；覊m等有害地影響產品的質量性能，在制造過程中，物品(例如半導體產品制造設備的情況下、半導體基片和用于液晶顯示器的玻璃基片，用于光學掩膜的玻璃基座，以及諸如用于光盤的基片的將要被制造的物品的中間產品)容納在盒子中，并在制造設備和諸如儲料器或簡化的緩沖單元的存儲單元之間根據制造過程由輸送系統輸送(參見專利文獻1)。應該注意基于在軌道上運行的輸送設備的輸送系統是輸送系統的主流，該輸送系統包括用于通過在懸掛在天花板的軌道上運行輸送FOUP(晶圓傳送盒)的OHT(高架提升輸送)系統和OHS(高架往復輸送)系統以及利用在地面上自主運行的輸送裝置的輸送系統。

另外，在自動材料處理系統中，作為用于識別載體的識別信息的載體ID(條形碼，RFID(射頻識別)，紅外通訊ID等等)連接到每個載體，該載體是被輸送的物體。當載體通過輸送設備輸送到平行于輸送路徑安裝的諸如儲料器、緩沖級、以及簡化緩沖單元的制造設備或存儲單元時ID讀/寫單元分別安裝在它們的裝載端口和卸載端口或兩個端口的接口單元部分，并且載體ID的確認和被管理的載體ID的讀和寫由自動材料處理系統的控制器通過ID讀/寫單元執行。

例如，專利文獻2公開一種技術，在該技術中連接到主機的無線通訊功能安裝在制造設備和諸如儲料器、緩沖級，以及簡化緩沖單元的存儲單元的各相應部分，同時具有無線通訊功能并能存儲預定信息(識別信息)的電子模塊分別安裝在盒子上(被輸送的物體)，并且預定信息通過無線通訊從電子模塊讀取或被寫入其中從而通過主機管理盒子。

專利文獻1?????????JP-A-2005-1886

專利文獻2?????????JP-A-9-283595

但是，由于ID讀/寫單元昂貴，在平行安裝到輸送路徑的制造設備和諸如儲料器、緩沖級，以及簡化的緩沖單元的存儲單元的數量很大的情況下，存在成本高的問題。

另外，在通過利用無線通訊技術執行被輸送物體上的識別信息的讀和寫的情況下，由于使用在無線通訊技術中所用天線的方向性，存在很難設定無線通訊功能的安裝地址的問題。即，如果被輸送的物體進入無線通訊范圍內的死區(例如，被輸送的物體偏離正確的位置)，無線通訊不能建立，并且因此存在被輸送物體和被輸送物體上的識別信息不能確認的問題。在這種接合點，為了確認被輸送物體和被輸送物體上的識別信息，自動材料處理系統必須被停止并且識別信息必須從與所有被輸送物體相關的ID讀/寫單元手動讀取。在載體的數量很大的情況下，涉及人工和時間，并且由于生產過程被停止較長時間，工廠的生產率受到不利的影響。

發明內容

根據上述的現有問題，根據本發明提供一種自動材料處理系統，在自動材料處理系統中以低成本、容易并具有高度可靠性地管理被輸送的物體，該被輸送的物體在至少一個存儲單元和多個制造設備之間根據控制器的指令由多個輸送設備輸送。

解決問題的手段

根據本發明的自動材料處理系統是用于管理在至少一個存儲單元和多個制造設備之間根據控制器的指令通過多個輸送設備輸送的被輸送物體的自動材料處理系統，其特征在于：被輸送的物體具有可讀/可寫識別信息記錄單元，用于記錄用來識別將要被處理的物體的識別信息，該信息包含在被輸送的物體中；某些輸送設備的每一個都具有識別信息讀/寫單元，用于基于控制器的指令實施與識別信息記錄單元相關的識別信息的讀和寫；以及控制器具有識別信息管理單元，用于存儲和管理在識別信息讀/寫單元中已經被讀或寫的識別信息，其中根據記錄在識別信息記錄單元上的識別信息和存儲在識別信息管理單元中并通過其管理的識別信息在控制器中執行將要被處理的物體的管理。