[發(fā)明專(zhuān)利]成膜裝置和成膜方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680008202.4
• 申請(qǐng)日: 2006-03-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101142662A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 千田二郎;大島元啟;石田耕三;富永浩二
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 學(xué)校法人同志社;株式會(huì)社堀場(chǎng)制作所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/31
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/31
• 代理公司: 上海市華誠(chéng)律師事務(wù)所
• 代理人: 徐申民;董紅曼

1.一種成膜裝置，該裝置是使液體原料氣化，使其堆積在基板上而成膜的成膜裝置，其特征在于，

該裝置具有將上述基板保持在內(nèi)部的成膜室和將上述液體原料直接噴射到上述成膜室內(nèi)的噴射閥，

上述液體原料為含有金屬化合物和低沸點(diǎn)有機(jī)化合物的混合溶液，使上述成膜室內(nèi)的壓力大于與上述低沸點(diǎn)有機(jī)化合物混合前的上述金屬化合物的蒸氣壓，且小于上述混合溶液的蒸氣壓。

2.如權(quán)利要求1所記載的成膜裝置，其特征在于，上述金屬化合物為有機(jī)鉭化合物或有機(jī)鈮化合物。

3.如權(quán)利要求2所記載的成膜裝置，其特征在于，即使在大氣壓中的100℃以上，上述有機(jī)鉭化合物或有機(jī)鈮化合物的蒸氣壓為1Torr以下。

4.如權(quán)利要求2所記載的成膜裝置，其特征在于，在大氣壓中的40℃以下的溫度時(shí)，上述有機(jī)鉭化合物或有機(jī)鈮化合物為液體。

5.如權(quán)利要求2所記載的成膜裝置，其特征在于，上述有機(jī)鉭化合物或有機(jī)鈮化合物為醇鹽系、胺系、β-二酮絡(luò)合物、苯化合物系或五元環(huán)化合物系。

6.如權(quán)利要求1所記載的成膜裝置，其特征在于，即使在20℃以下，上述低沸點(diǎn)有機(jī)化合物在大氣壓下的蒸氣壓為1Torr以上。

7.如權(quán)利要求1所記載的成膜裝置，其特征在于，上述低沸點(diǎn)有機(jī)化合物是能夠用C_xH_2x+2(5≤X≤7)表示的化合物。

8.如權(quán)利要求1所記載的成膜裝置，其特征在于，上述低沸點(diǎn)有機(jī)化合物是能夠用C_xH_2x+1OH(1≤X≤4)表示的化合物。

9.一種成膜方法，該方法使液體原料氣化，使其堆積在基板上而成膜，

其特征在于，

將含有金屬化合物和低沸點(diǎn)有機(jī)化合物的混合溶液作為上述液體原料直接噴射到將上述基板保持在內(nèi)部的成膜室內(nèi)，

使上述成膜室內(nèi)的壓力大于與上述低沸點(diǎn)有機(jī)化合物混合前的上述金屬化合物的蒸氣壓，且小于上述混合溶液的蒸氣壓。

10.如權(quán)利要求9所記載的成膜方法，其特征在于，上述金屬化合物為有機(jī)鉭化合物或有機(jī)鈮化合物。