[發明專利]介質隔離式絕對壓力傳感器

無效

• 申請號: 200680007729.5
• 申請日: 2006-02-17
• 公開（公告）號: CN101228422A
• 公開（公告）日: 2008-07-23
• 發明（設計）人: 沃爾特·恰爾諾茨基
• 申請（專利權）人: 北美泰密克汽車公司
• 主分類號: G01L9/04
• 分類號: G01L9/04
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 黃啟行;穆德駿

1.一種介質隔離式絕對壓力傳感器裝置，包括：

第一壓力傳感器，可操作用于測量施加至所述第一壓力傳感器上的第一壓力和第二壓力之間的第一壓力差，所述第一壓力傳感器通過提供具有關于所述第一壓力差的第一斜率響應的第一輸出，來響應所述第一壓力差；

第二壓力傳感器，可操作用于測量施加至所述第二壓力傳感器上的第二壓力和基本真空之間的第二壓力差，所述第二壓力傳感器通過提供具有關于所述第二壓力差的第二斜率響應的第二輸出，來響應所述第二壓力差；

至少一個均衡電路，用于調整所述第一和第二傳感器中的至少一個的斜率響應，使得所述第一斜率基本與所述第二斜率相同，并用于提供與所述第一和第二傳感器對應的至少一個調整后的輸出；以及

求和電路，用于將與所述第一和第二傳感器關聯的所述基本相同的斜率輸出相加，使得提供表示所述第一壓力的絕對壓力測量的輸出信號。

2.根據權利要求1所述的裝置，進一步包括偏移電路，用于為對應的第一和第二傳感器提供第一和第二偏移信號中的至少一個。

3.根據權利要求1所述的裝置，進一步包括耦合到所述第一和第二壓力傳感器的每一個的偏移-溫度和范圍-溫度補償電路，用于提供從所述第一和第二壓力傳感器得到的偏移-范圍溫度補償信號。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中所述均衡器包括兩個均衡器，每一個用于所述第一和第二傳感器的一個。

5.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一壓力傳感器是壓阻器件。

6.一種介質隔離式絕對壓力傳感器裝置，包括：

第一壓力傳感器，可操作用于測量隔離介質的第一壓力和施加至第一壓力傳感器上的第二壓力之間的第一壓力差，所述第一壓力傳感器通過提供具有關于所述第一壓力差的第一斜率響應的第一輸出，來響應所述第一壓力差；

第二壓力傳感器，可操作用于測量施加至所述第二壓力傳感器上的第二壓力和基本真空之間的第二壓力差，所述第二壓力傳感器通過提供具有關于所述第二壓力差的第二斜率響應的第二輸出，來響應所述第二壓力差；

第一和第二均衡電路，用于調整相應的所述第一和第二傳感器中的斜率響應和偏移，使得所述第一斜率基本與所述第二斜率相同，并用于提供所述相應的調整后的第一和第二輸出；以及

求和電路，用于將所述調整后的第一和第二輸出相加，從而提供表示所述隔離介質的絕對壓力測量的輸出信號。

7.根據權利要求6所述的裝置，進一步包括耦合到第一和第二壓力傳感器的每一個的偏移-溫度和范圍-溫度補償電路，用于提供從所述第一和第二壓力傳感器得到的偏移-范圍溫度補償信號。

8.根據權利要求6所述的裝置，其中所述第一和第二壓力傳感器是壓阻器件。

9.一種用于提供隔離介質的絕對壓力測量的方法，該方法包括步驟：

提供第一壓力傳感器，其可操作用于測量施加至第一壓力傳感器上的第一壓力和第二壓力之間的壓力差，所述第一壓力傳感器通過提供具有關于所述第一壓力差的第一斜率響應的第一輸出，來響應所述第一壓力差；以及提供第二壓力傳感器，其可操作用于測量施加至第二壓力傳感器上的第二壓力和基本真空之間的第二壓力差，所述第二壓力傳感器通過提供具有關于所述第二壓力差的第二斜率響應的第二輸出，來響應所述第二壓力差；

調整所述第一和第二傳感器中的至少一個的斜率響應，使得所述第一斜率基本與所述第二斜率相同；

提供與所述第一和第二傳感器對應的至少一個調整后的輸出；以及

對與所述第一和第二傳感器關聯的所述基本相同的斜率輸出求和，從而提供表示所述第一壓力的絕對壓力測量的輸出信號。

10.根據權利要求9所述的方法，進一步包括以下步驟：從所述對應的第一和第二傳感器輸出減去第一和第二偏移。

11.根據權利要求10所述的方法，進一步包括以下步驟：施加從所述第一和第二壓力傳感器得到的偏移-溫度和范圍-溫度補償，以提供所述第一和第二傳感器的偏移-范圍溫度-補償。

12.根據權利要求9所述的方法，其中所述調整的步驟調整所述第一信號和第二信號的所述斜率響應。

13.根據權利要求9所述的方法，其中所述提供步驟包括提供所述傳感器為第一和第二壓阻器件。