[發明專利]具有電磁控制的微系統

無效

• 申請號: 200680007685.6
• 申請日: 2006-01-06
• 公開（公告）號: CN101138060A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發明（設計）人: 西爾萬·佩紐;卡羅琳·庫蒂爾;阿瑪莉亞·加尼爾;貝努瓦·格雷普;勞倫特·奇西
• 申請（專利權）人: 施耐德電器工業公司
• 主分類號: H01H50/00
• 分類號: H01H50/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 王景剛;王冉

1.一種微系統，包括：

-磁性微致動器(2，2’)，具有活動元件，該活動元件由基板(3)支承并且受到磁效應的控制，能夠在第一位置和第二位置之間移動從而開關至少一個電路；

-永磁體或電磁體，使該活動元件經受第一磁場(B₀)的作用從而將其保持在第一位置；以及

-在基板(3)外部的激勵線圈(4，6)，所述激勵線圈(4，6)能夠在通電時使活動元件經受第二磁場(BS₁)的作用，從而使活動元件從第一位置移動到第二位置，

其特征在于：

-激勵線圈是螺線管類型的并且其環繞支承該活動元件的基板。

2.根據權利要求1所述的微系統，其特征在于，該活動元件包括安裝在基板(3)上的隔膜(20，20’)，其具有縱向軸線(A，A’)并且能夠沿著垂直于縱向軸線(A，A’)的軸線(P，P’)在各種位置之間樞轉，所述隔膜(20，20’)具有至少一層由磁性材料制成的層。

3.根據權利要求1或2所述的微系統，其特征在于，第一磁場(B₀)是均勻的并且其定向垂直于其上安裝有活動元件的基板(3)的平面表面(30)。

4.根據權利要求1至3任一項所述的微系統，其特征在于，支承微致動器(2，2”)的基板(3)位于具有能夠產生第一磁場(B₀)的磁源和間隙(50，51)的磁通路中。

5.根據權利要求4所述的微系統，其特征在于，磁源是永磁體(5)。

6.根據權利要求4所述的微系統，其特征在于，磁源是電磁線圈(5’)。

7.根據權利要求1至6任一項所述的微系統，其特征在于，激勵線圈(4)延其長度具有可變密度的匝數(40)。

8.根據權利要求7所述的微系統，其特征在于，激勵線圈(4)的每一端具有更大量的匝數(40)。

9.根據權利要求1至8任一項所述的微系統，其特征在于，第一磁場(B₀)具有場線，所述場線沿著非垂直于由基板(3)的支承磁性微致動器(2，2’)的表面(30)限定的平面的方向。

10.根據權利要求1至9任一項所述的微系統，其特征在于，其控制兩個電路的斷開和閉通。

11.根據權利要求1至10任一項所述的微系統，其特征在于，其采用MEMs類型技術制造。

12.根據權利要求1至11任一項所述的微系統，其特征在于，基板(3)支承多個相同的磁性微致動器(2，2’)，所述多個磁微致動器能夠由所述激勵線圈(4)瞬時致動。