[發明專利]減少污染的方法及設備無效

申請號：	200680007286.X	申請日：	2006-01-10
公開（公告）號：	CN101137325A	公開（公告）日：	2008-03-05
發明（設計）人：	D·A·愛德華;M·J·加布里埃爾森;R·W·克拉克;W·H·德哈安;M·F·布朗德;J·C－W·曼	申請（專利權）人：	普馬特里克斯公司
主分類號：	A61B5/097	分類號：	A61B5/097;G01N33/497;G01N15/02
代理公司：	北京紀凱知識產權代理有限公司	代理人：	程偉;戈泊
地址：	美國馬***	國省代碼：	美國;US
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摘要：
搜索關鍵詞：	減少污染方法設備
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【說明書】：

【技術領域】

本發明是關于在各種環境中減少粒子散發及污染的方法、調配物及設備之領域中，且特別是用于在無塵室(cleanroom)中。

【背景技術】

無塵室(cleanroom)為制造產品所在的經控管環境。無塵室為空中傳播的粒子濃度控制在特定范圍的空間。減少次微米級(sub-micron)的空中傳播污染實為控管過程。這些污染可由人、制程、設施及配備產生。必須持續從空氣中移除這些污染。需要移除粒子的程度端靠所需的標準。最常用的標準為聯邦標準(Federal?Standard)209E。209E為替無塵室或清潔區(clean?zone)中的空氣傳播微粒等級建立空氣潔凈標準分級的文件。遵守嚴格的規定與程序以避免產品污染。

下列表格顯示最近的無塵室分級。注意：ISO等級2相當于209等級10。

表l：空氣傳播微粒潔凈等級

??分級編號??編號(N)??Maxinmm?concentration?limits?(particles/m³?of?air)??for?particles?equal?to?and?larger?than?the?sizes?listed?below??0.1微米??0.2微米??O.3微米??0.5微米??1微米??5微米??ISO?1??10??2??ISO?2??100??24??10??4??ISO?3??1,000??237??102??35??8??ISO?4??10,000??2,370??1,020??352??83??ISO?5??100,000??23，700??10，200??3,520??832??29??ISO?6??1,000,000??237,000??102,000??35,200??8,320??293??ISO?7??352,000??83,200??2,930??ISO?8??3,520,000??832,000??29,300??ISO?9??35,200,000??8,320,000??293,000