[發明專利]差壓傳感器陣列及相關的差壓傳感器

有效

• 申請號: 200680007221.5
• 申請日: 2006-03-02
• 公開（公告）號: CN101137987A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發明（設計）人: 凱爾·溫特·雅各布松
• 申請（專利權）人: 格倫德福斯管理聯合股份公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50;H01L21/66
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 鄭小軍

技術領域

本發明涉及一種差壓傳感器陣列(Differenzdrucksensor-Anordnung)及相關的差壓傳感器。

背景技術

由EP?1?353?160公知一種差壓傳感器，其具有一個作為測量元件的膜，其中從兩個表面對所述膜施加壓力，從而可以通過偏移或者在所述膜中出現的應力來確定這兩個膜表面之間的差壓。

發明內容

本發明的目的是，進一步地研發這種差壓傳感器并且提供一種相關的差壓傳感器陣列，所述差壓傳感器能夠簡單地安裝在一個容納所述差壓傳感器的部件中。

該目的通過具有在權利要求1中所述的特征的差壓傳感器陣列以及具有在權利要求14中所述的特征的相關的差壓傳感器來實現。優選的實施方式由從屬權利要求給出。

根據本發明的差壓傳感器陣列由差壓傳感器和容納空間組成，在所述容納空間中裝入所述差壓傳感器。在此，所述容納空間是一個部件或者裝置的一部分，所述差壓傳感器應當集成到該部件或者裝置中，所述部件或者裝置例如是一種泵裝置或者加熱裝置。此外，所述容納空間連接到兩個區域或者媒介，應當在所述兩個區域或媒介之間確定差壓。例如所述容納空間可以與兩個壓力管線保持連接或者與一個壓力管線和外界保持連接。為了能夠把所述容納空間的壓力相互分開地引導到兩個壓力接收區域以探測在所述差壓傳感器上的差壓，在所述差壓傳感器上和/或在所述容納空間中設置至少一個密封元件，所述密封元件在裝入所述差壓傳感器的情況下把所述容納空間分成第一壓力區和第二壓力區。所述差壓傳感器設置成，把其壓力接收區域分配給這兩個壓力區，使得所述差壓傳感器可以探測到在這兩個壓力區之間的壓差。

根據本發明，所述第一壓力區完全形成在所述差壓傳感器的環繞縱軸線的周面(Umfangsflaeche)與所述容納空間的朝向該縱軸線的內壁之間的區域中。這意味著，所述第一壓力區不在所述差壓傳感器的端面的區域上延伸，所述差壓傳感器的端面優選位于沿所述差壓傳感器插入所述容納空間的方向的前方。所述周面形成為間隔地環繞所述壓力傳感器的縱軸線的面，優選的是柱面，尤其是圓形柱面。然而所述壓力傳感器的橫截面輪廓還可以形成任意的其它形狀，從而所述周面具有相應的曲線。所述壓力傳感器的縱軸線優選是沿所述壓力傳感器插入所述容納空間的方向的軸線，所述容納空間優選形成為盲孔。所述密封元件位于所述壓力傳感器與所述容納空間的內壁之間，并且可以固定在這兩個部件之一上，也可以固定在這兩個部件上。

根據本發明，把所述第一壓力區與所述第二壓力區分開的所述密封元件不貼靠在形成為盲孔的容納空間的底部，而是只貼靠在所述容納空間的周邊內壁上。只在所述壓力傳感器的周邊區域形成所述第一壓力區的優點是，可以實現所述第一壓力區與所述第二壓力區之間更好的密封。

此外，根據本發明，所述第一壓力區形成為，使得所述第一壓力區沿切向(Umfangsrichtung)的至少一部分未在整個周面上延伸，而是只在其部分區域上延伸。這就是說，在所述第一壓力區的所述部分附近，在所述壓力傳感器的與其縱軸線正交的同一橫截面上，還將所述第二壓力區的一部分設置在所述周面上。從而在所述壓力傳感器的橫截面中，所述第一壓力區的所述部分與所述第二壓力區的一部分沿切向錯開地設置。通過這樣的構造可以在所述容納空間和壓力傳感器的壓力孔中實現相互具有壓力或流體連接的緊湊的布局設置(Anordnung)。此外還可以實現這兩個壓力區相互間的可靠密封。

優選的是，第一壓力孔和第二壓力孔形成在所述差壓傳感器的周面上，并且朝向所述容納空間的環繞的(umfnglich)內壁。所述第一和第二壓力孔還優選沿徑向對置地形成在所述差壓傳感器的周邊上。此外，所述壓力孔還可以在所述差壓傳感器的同一個橫截面上彼此錯開地形成，或者沿所述壓力傳感器的縱軸線方向彼此錯開地形成。所述壓力孔連接到設置在所述壓力傳感器的內部的真正的(eigentlich)測量元件，所述測量元件在此優選為膜。由此，各壓力孔分別與所述測量膜的一側連接，待確定差值的壓力施加在所述膜的兩側并且可以通過在所述膜中產生的應力來確定所述差壓。