[發(fā)明專利]收集裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680006651.5
• 申請(qǐng)日: 2006-02-10
• 公開（公告）號(hào): CN101133185A
• 公開（公告）日: 2008-02-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: D·恩格蘭;P·迪克松;M·C·霍普
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 范曉斌;黃力行

1.一種收集裝置，用于從由真空泵從封閉容器中抽出的氣流中除去物質(zhì)，該收集裝置包括殼體和多個(gè)管筒，其中，該殼體具有用于接收氣流的入口和用于將氣流排出該殼體的出口，每個(gè)管筒通過殼體上的相應(yīng)開口而被可拆卸地插入該殼體中，以便為流過殼體的氣體提供多個(gè)流動(dòng)通道，每個(gè)流動(dòng)通道在相應(yīng)管筒的入口和出口之間延伸，每個(gè)管筒中容納有去除裝置，該去除裝置用于從通過套筒的氣體中去除物質(zhì)并使得該物質(zhì)形成為固態(tài)材料收集在管筒中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的收集裝置，其中，每個(gè)去除裝置包括冷凝裝置，該冷凝裝置用于從通過管筒的氣體中冷凝出物質(zhì)，并使得該物質(zhì)形成冷凝物收集在管筒中。

3.一種收集裝置，用于從由真空泵從封閉容器中抽出的氣流中除去可冷凝物質(zhì)，該收集裝置包括殼體和多個(gè)管筒，其中，該殼體具有用于接收氣流的入口和用于將氣流排出該殼體的出口，每個(gè)管筒通過殼體上的相應(yīng)開口而被可拆卸地插入該殼體中，以便為流過殼體的氣體提供多個(gè)流動(dòng)通道，每個(gè)流動(dòng)通道在相應(yīng)管筒的入口和出口之間延伸，每個(gè)管筒中容納有冷凝裝置，用于從通過套管的氣體中冷凝出物質(zhì)，并使得該物質(zhì)形成冷凝物收集在管筒中。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的收集裝置，其中，該冷凝裝置包括冷卻裝置，該冷卻裝置用于將經(jīng)過管筒的氣體冷卻至一溫度，在該溫度或該溫度以下，該氣體中的可冷凝物質(zhì)冷凝成為冷凝物。

5.根據(jù)權(quán)利要求2-4中任一項(xiàng)所述的收集裝置，其中，該冷凝裝置包括導(dǎo)管，該導(dǎo)管用于在管筒中傳送冷卻劑流，以冷卻經(jīng)過該管筒的氣體。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的收集裝置，其中，該冷卻劑包括液體冷卻劑，優(yōu)選包括水。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的收集裝置，其中，該冷凝裝置包括與該導(dǎo)管成熱接觸的多個(gè)冷卻翅片，這些冷卻翅片布置成使得流過該管筒的氣體經(jīng)過該冷卻翅片。

8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的收集裝置，其中，該冷凝裝置包括螺旋管，該流動(dòng)通道包括第一部分和第二部分，其中，第一部分在導(dǎo)管周圍沿著該導(dǎo)管延伸，第二部分沿該導(dǎo)管的縱向軸線延伸。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的收集裝置，其中，每個(gè)管筒包括擋板裝置，該擋板裝置用于將進(jìn)入管筒的氣體朝著該流動(dòng)通道的第一和第二部分之一進(jìn)行引導(dǎo)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的收集裝置，其中，每個(gè)去除裝置包括至少一個(gè)過濾元件，該過濾元件用于從通過管筒的氣體中除去顆粒。

11.一種收集裝置，用于從由真空泵從封閉容器中抽出的氣流中除去顆粒，該收集裝置包括殼體和多個(gè)管筒，其中，該殼體具有用于接收氣流的入口和用于將氣流排出殼體的出口，每個(gè)管筒通過殼體上的相應(yīng)開口而被可拆卸地插入該殼體中，以便為流過殼體的氣體提供多個(gè)流動(dòng)通道，每個(gè)流動(dòng)通道在相應(yīng)管筒的入口和出口之間延伸，每個(gè)管筒中容納有至少一個(gè)過濾元件，該過濾元件用于從通過管筒的氣體中除去顆粒。

12.根據(jù)權(quán)利要求10或11的收集裝置，其中，所述至少一個(gè)過濾元件為經(jīng)過該裝置的氣流限定了曲折的流動(dòng)通道。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的收集裝置，其中，所述至少一個(gè)過濾元件為該氣流限定了正弦曲線形流動(dòng)通道。

14.根據(jù)權(quán)利要求10-13中任一項(xiàng)所述的收集裝置，其中，每個(gè)管筒容納有多個(gè)過濾元件，這些過濾元件沿管筒的縱向軸線間隔開，并在其間限定了所述流動(dòng)通道。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的收集裝置，其中，每個(gè)去除裝置包括加熱裝置，該加熱裝置用于將通過管筒的氣體加熱至一溫度，在該溫度或該溫度以上，該氣體中的未反應(yīng)物質(zhì)轉(zhuǎn)化成固態(tài)物質(zhì)。

16.一種收集裝置，用于從由真空泵從封閉容器中抽出的氣流中除去物質(zhì)，該收集裝置包括殼體和多個(gè)管筒，其中，該殼體具有用于接收氣流的入口和用于將氣流排出殼體的出口，每個(gè)管筒通過殼體上的相應(yīng)開口而被可拆卸地插入該殼體中，以便為流過殼體的氣體提供多個(gè)流動(dòng)通道，每個(gè)流動(dòng)通道在相應(yīng)管筒的入口和出口之間延伸，每個(gè)管筒中容納有加熱裝置，用于加熱通過管筒的氣體。

17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的收集裝置，其中，該加熱裝置包括加熱器和布置成與加熱器成熱接觸的多個(gè)翅片，并使得流過該管筒的氣體經(jīng)過該翅片。