[發明專利]用于群集工具的安全通用配置軟件

有效

• 申請號: 200680006070.1
• 申請日: 2006-02-16
• 公開（公告）號: CN101283360A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 黃忠河;范石全;張震川
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: G06F19/00
• 分類號: G06F19/00;G06F9/24;G06F9/445;G06F15/177
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余剛;尚志峰

背景技術

等離子體處理工具長期被用于處理晶片和其他小型器件(如平板、納米機器等)。群集工具(cluster?tool)，代表等離子體處理工具的變體，已經被廣泛應用。在一個群集工具中，多個處理室被聚集在一個或者多個傳遞模塊的周圍。對于一個或多個特定過程，每個處理室是可以配置的。通過將半導體襯底從處理室移動到群集工具的處理室，制造者可以在相當短時間內使襯底經受多個過程以及多個處理配方。在制造環境中采用群集工具的好處之一是產量可得到提高。

為了便于論述，圖1示出了群集工具100，它代表典型的群集工具的高級的、簡化邏輯表示。群集工具100包括前端102和后端104。前端102可被看作群集工具100的一部分，其處于大氣壓下，且襯底通過其放入或移出。后端104包括處理襯底所需的實際處理模塊。

更具體地，圖1中的前端102包括多個端口110、112和114，其代表用于將襯底輸入群集工具100或從群集工具100卸出的端口。襯底接著進入氣鎖120和122中的一個，氣鎖維持后端104和前端102之間的壓差。然后襯底從氣鎖120和122被傳送到一個公共傳遞模塊(TM)130，該模塊在襯底處理模塊(PM)140、142、144和146中移來移去時作為一個公共傳遞點。每個處理模塊被配置為使用特定配方執行一個或多個特定的處理。例如可以對處理模塊進行配置以用于多晶硅蝕刻，可將另一個處理模塊配置成用于氮化物沉積，同一群集工具中的另一個處理模塊可被配置成用于金屬蝕刻。群集工具100可以包括圖1中沒有示出的其他模塊(如大氣處理模塊或者APM)以及其他子系統。由于群集工具中這些以及其他主要的子系統對于本領域技術人員是熟知的，因此這里就不列出或詳細論述主要的子系統了。

一個群集工具可以與其他的群集工具在主要子系統的數量上(如處理模塊的數量以及/或者類型)有所區別。而且，例如，即使兩個群集工具具有相同類型的相同數量的處理模塊，這兩個群集工具也仍然會由于構成這兩個群集工具的子系統和子模塊不同而存在區別。例如，兩個金屬蝕刻處理模塊可以有不同的質量流控制器或者真空泵。

為了精心制作，群集工具100的制造商，如加拿大Fremont的Lam研究公司，通常利用來自許多制造群集工具的第三方的子系統和部件。實際上，由于這允許公司集中他們的精力，而將他們感興趣的領域或專長以外的任務委托給其他公司，因此這種慣例在半導體處理設備領域中是標準的。

因此，使用來自不同供貨商的不同部件和子系統來制造群集工具。關于要將哪些部件或者哪些子系統并入給定的群集工具中的決定，是一個復雜的決定過程，要考慮經濟、定價策略、技術能力、變化的技術、客戶要求、競爭定位以及/或者其他因素。而且，通常要每月或者每季度用一個或多個新的部件更新群集工具。這種因素，與不同客戶要求結合，導致基本的相似性，即制造商當前發貨的群集工具在某些方面可能與先前由該制造商所發貨的所有其他群集工具有差別。然而，存在對所有群集工具的一般要求：需要利用合適的配置軟件和/或者配置文件來配置群集工具以供使用。由于大多數子系統和部件都是電子控制的(所有現代硬件通常就是這樣)，因此需要配置單個部件/子系統以及需要在組合的群集工具中配置部件/子系統，使之一起工作。

傳統上，每個群集工具都配備有自己的配置軟件，這種軟件是為構成組合的群集工具的特定子系統和部件而定制編碼的。然而，定制編碼既耗時又昂貴。與定制編碼相關的延遲和費用不僅會在起初的購買階段，而且會在以新的子系統和/或部件更新群集工具時的每個更新周期影響使用者。隨著時間的過去，需要維護群集工具的不同版本的配置軟件程序，這對于群集工具的制造商同樣對于用戶來說都成為負擔。對某些制造商，簡直需要支持數百個不同版本的群集工具配置軟件已經成為一個問題。

此處本發明人已經認識到，如果可以創建一個通用的配置工具，則群集工具的制造商和/或用戶將能夠以較少的時間延遲和費用來配置和支持群集工具。此外，此處本發明人已經認識到，也可以采用適當設計的配置工具來防止在給定的群集工具中使用未授權部件/子系統，可以基于授權的配置靈活度支持不同定價結構，可以用來支持群集工具開發中的努力以及/或者可用于仿真。本申請致力于這樣一種改進的群集工具配置工具。

發明內容

根據本發明的一個方面，提供了通用配置工具(UCT)，它允許群集工具的制造商和用戶利用相同的軟件配置不同群集工具。該通用配置工具有利地將制造商和用戶從在安裝和/或更新群集工具時不得不使用不同的/定制編碼配置軟件中解脫出來。