[發明專利]光源裝置

有效

• 申請號: 200680005239.1
• 申請日: 2006-02-10
• 公開（公告）號: CN101120242A
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發明（設計）人: 松下孝二;上野和夫;足立耕造
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及一種光源裝置，其具備出射規定波長的光的氣體放電管，可用作分析裝置或半導體檢查裝置等的光源。

背景技術

目前，在分析裝置和半導體檢查裝置等的技術領域中，已知有如例如專利文獻1和2記載的光源裝置。這些專利文獻1和2中記載的光源裝置，具備容納出射紫外光的重氫燈(氣體放電管)的燈容器，該燈容器被容納在光源裝置的殼體中。例如在專利文獻1記載的光源裝置中，燈箱(燈容器)經由絕熱部件而固定在殼體中。由此，防止從殼體向燈箱的傳熱，實現出射亮度的穩定化。此外，在專利文獻2的分析裝置(光源裝置)中，在燈容器與殼體之間配置有絕熱材料，借此防止在氣體放電管中產生的熱給測定帶來不好的影響。

專利文獻1：日本特開2000-315417號公報

專利文獻2：日本特開平11-344435號公報

發明內容

發明人對現有的光源裝置進行了研究，結果發現了以下的問題。即，被容納在燈容器內的氣體放電管容易受到溫度變化的影響。特別是，對于專利文獻1記載的光源裝置而言，氣體放電管的芯柱露出于燈容器外，因此氣體放電管會受到燈容器外的溫度變化的影響，其結果是，可能會使亮度不穩定。

此外，近年來對光源裝置提出了小型化的要求，此時，在殼體內靠近配置燈容器與其它部件。另一方面，這樣的裝置的小型化使得氣體放電管的交換等的保養操作變得困難。

本發明是為了解決如上所述的問題而完成的，目的在于提供一種光源裝置，其具備可以使氣體放電管的亮度穩定化，同時使氣體放電管的保養操作容易的結構。

本發明的光源裝置具備產生規定波長的光的氣體放電管、容納該氣體放電管的燈容器、以及在表面固定有該燈容器的基臺。上述燈容器具備燈固定部、光出射部、絕熱部件和第一拆裝結構。燈固定部構成燈容器的外圍的一部分。光出射部使來自被容納的氣體放電管的光向燈容器外通過。絕熱部件與氣體放電管一起被容納在燈容器內。此外，該絕熱部件配置在該氣體放電管與該燈固定部之間，以使得氣體放電管被固定在燈固定部的內側面的規定位置上。并且，第一拆裝結構使燈固定部(氣體放電管經由絕熱部件而固定)相對于與該燈固定部一起構成燈容器的外圍的一部分的其余部分，在該氣體放電管被固定的狀態下能夠拆裝。

如上所述，本發明的光源裝置具有，在燈容器內固定有氣體放電管，并且在氣體放電管與構成燈容器的燈固定部之間配置有絕熱部件的結構。通過這樣的結構，相比于絕熱部件被配置在燈容器外、并且氣體放電管與燈容器相接觸的現有的光源裝置，減少了燈容器與氣體放電管之間的傳熱。其結果是，該光源裝置有效地降低了由燈容器外的溫度變化引起的對氣體放電管的影響。此外，利用第一拆裝結構，使燈固定部相對于構成燈容器的外圍的一部分的其余部分，以固定氣體放電管的狀態下能夠拆裝。此時，在燈固定部從燈容器的其余部分拆卸的同時，固定在該燈固定部的氣體放電管也從該其余部分分離。其結果是，去除了周圍的成為障礙的部分，可以簡便地進行相對于氣體放電管的燈固定部的拆裝，氣體放電管的保養操作變得容易。

在這里，作為進行上述保養作用方面優選的結構，具體而言，優選燈容器具有箱型形狀。具體而言，燈容器的箱型形狀通過固定在基臺上的燈容器基板、燈固定板、第一壁面板、第二壁面板限定。燈固定板沿著與燈容器基板大致垂直的方向延伸，氣體放電管通過絕熱部件固定。第一壁面板夾著氣體放電管而與燈固定板相對配置。第二壁面板夾著氣體放電管而與燈容器基板相對配置。此時，燈固定部由燈固定板和第二壁面板構成。此外，第一拆裝結構使得燈固定部，相對于燈容器基板和第一壁面板，在氣體放電管通過絕熱部件被固定的狀態下，沿著與該燈容器基板大致垂直的方向能夠拆裝。

此外，在本發明的光源裝置中，燈容器也可以進一步具備互相相對的第三壁面板和第二拆裝結構。此時，一對第三壁面板與第二壁面板和燈固定板大致垂直，夾著氣體放電管而互相相對地配置。此外，第二拆裝結構使一對第三壁面板相對于第二壁面板和燈固定板能夠拆裝。

根據如上所述的結構，在氣體放電管被固定的狀態下拆卸燈固定板時，氣體放電管的交換操作等的保養操作能夠更容易地進行。另外，端窗型氣體放電管固定在燈固定板上時，光出射部只要是設置在第一壁面板上的結構即可。另外，當側窗型的氣體放電管固定在燈固定板上時，光出射部也可以為設置在第三壁面板上的結構。

此外，本發明的光源裝置也可以進一步具備使來自氣體放電管的光通過的透鏡。此時，透鏡也可以保持在設置在燈容器中的光出射部上。利用這樣的結構，氣體放電管相對于透鏡的定位變得更容易。