[發明專利]燒結金剛石的加工方法、基板用刀輪及其加工方法

有效

• 申請號: 200680003956.0
• 申請日: 2006-02-02
• 公開（公告）號: CN101115581A
• 公開（公告）日: 2008-01-30
• 發明（設計）人: 近藤幹夫;栗山和久;冨森纮
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: B23K26/08
• 分類號: B23K26/08;B23K26/36;B23K26/40;B28D1/24;B28D5/00;C03B33/10;H01L21/301
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉

1.一種使用激光的燒結金剛石的微細加工方法，其特征在于，在該使用激光的燒結金剛石的微細加工方法中，對于將燒結金剛石作為材料的工件，使激光光束一邊相對于所述工件相對移動一邊照射到所述工件的加工部位上，在加工部位的最大厚度為200μm以下的范圍內，將所述工件加工成微細形狀。

2.根據權利要求1所述的使用激光的燒結金剛石的微細加工方法，激光光束的波長范圍為175～1066nm，1個脈沖的脈沖寬度為5f秒～50n秒，脈沖重復頻率為300Hz～5KHz。

3.根據權利要求1所述的使用激光的燒結金剛石的微細加工方法，將所述工件和激光光束之間的相對移動速度設為0.1μm/秒～3.0mm/秒，使所述激光光束一邊相對于所述工件相對移動一邊照射到所述工件的加工部位上。

4.一種使用激光的脆性材料基板用刀輪的制造方法，其特征在于，在該使用激光的脆性材料基板用刀輪的制造方法中，包括在將燒結金剛石作為材料而在外周面上具有成為刀刃的V字型的棱線部的脆性材料基板用刀輪中，從刀輪側面側，使激光光束一邊相對于所述刀輪相對移動一邊進行照射，在所述棱線部分上在周向上隔開期望的間隔來連續形成朝向刀輪半徑方向開口的微細的槽部的工序，使所述激光光束一邊相對于所述刀輪相對移動一邊照射到所述刀輪的加工部位上，在加工部位的最大厚度為200μm以下的范圍內，將所述刀輪加工成微細形狀。

5.根據權利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，激光光束的波長范圍為175～1066nm，1個脈沖的脈沖寬度為5f秒～50n秒，脈沖重復頻率為300Hz～5KHz。

6.根據權利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，將所述刀輪和激光光束之間的相對移動速度設為0.1μm/秒～3.0mm/秒，使所述激光光束一邊相對于所述刀輪相對移動一邊照射到所述刀輪的加工部位上。

7.根據權利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，激光光束是脈沖激光光束，通過激光磨蝕加工來形成槽部。

8.根據權利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，激光光束相對于所述刀輪的相對移動軌跡為相同模式的圖形。

9.根據權利要求8所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，所述圖形為圓、橢圓或多邊形的閉合曲線、或者不形成閉合曲線的曲線、直線。

10.根據權利要求9所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，使根據激光光束相對于所述刀輪的相對移動軌跡來描繪出的圖形在刀輪的半徑方向上偏移，從而調節所加工的槽部的深度，改變根據激光光束的移動軌跡來描繪出的圖形的尺寸，從而調節槽部的圓周方向的長度。

11.根據權利要求9所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，使激光光束從應加工槽部的一端緣相當部分在一個方向上相對于所述刀輪相對移動來進行第一次照射，從而加工出槽部的一部分，接下來使第二次的激光光束從未完成槽部的另一端緣相當部分在與所述一個方向相反的方向上相對于所述刀輪相對移動來完成一個槽部。

12.根據權利要求11所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，在激光光束的第一次照射以及第二次照射中，各激光光束相對于對所述刀輪的相對移動軌跡為閉合曲線且在刀輪周向上相互偏移。

13.根據權利要求11所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，將槽部中的激光光束相對于所述刀輪的相對移動軌跡設為圓弧，將第一次和第二次的激光光束的圓弧的尺寸設為不同尺寸。

14.根據權利要求11所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，以分割預定線為邊界而將應形成槽部的加工輪廓線分割為二個，分別使用第一次和第二次的激光光束來加工所分割的部分。

15.根據權利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，從刀輪的左右兩面側交替或同時照射激光光束來加工出槽部。

16.根據權利要求15所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法，以使從刀輪的左右兩面側照射的激光光束的照射方向相對于刀輪軸線接近的方式，以規定的傾角來形成。