[發(fā)明專利]具有高松弛能力、高耐化學(xué)品性和機械穩(wěn)定性的微圖案化層用復(fù)合組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680002775.6
• 申請日: 2006-01-20
• 公開（公告）號: CN101107568A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: C·貝克－威靈格;P·卡爾梅斯;H·施米特;檜野悅子;野口光敏;齋藤義一;大熊典夫
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;C08G77/14;C08L83/06
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 王健

1.復(fù)合組合物，包含：

a)以下物質(zhì)的水解產(chǎn)物和/或縮合物：

a1)至少一種含至少一個烷基的可水解烷基硅烷、

a2)至少一種含至少一個芳基的可水解芳基硅烷或至少一種含 至少一個烷芳基的可水解烷芳基硅烷，和

a3)至少一種含環(huán)氧基的可水解硅烷，

b)至少一種含至少2個環(huán)氧基的有機化合物，和

c)陽離子引發(fā)劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的復(fù)合組合物，其中所述烷基硅烷的至少一個 烷基包含至少3個碳原子。

3.權(quán)利要求1和2中任一項的的復(fù)合組合物，其中所述陽離子引 發(fā)劑是陽離子光引發(fā)劑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項的復(fù)合組合物，其中所述可水解烷 基硅烷選自由通式(I)表示的化合物，

R_aSiX_(4-a)?????????????(I)

其中，R可以相同或不同，是烷基取代基，它們中至少一個優(yōu)選 具有至少3個碳原子，X是可水解取代基，a是1-3的整數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項的復(fù)合組合物，其中，所述可水解 芳基硅烷或烷芳基硅烷選自由通式(II)表示的化合物，

R′_aSiX_(4-a)???????????(II)

其中，R′可以相同或不同，是選自烷基、芳基和烷芳基的不可 水解取代基，它們中至少一個是芳基或烷芳基，X是可水解取代基，a 是1-3的整數(shù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項的復(fù)合組合物，其中，所述含環(huán)氧 基的可水解硅烷選自由通式(III)表示的化合物，

RcSi(R)_bX_(3-b)??????????(III)

其中Rc是含環(huán)氧基的不可水解取代基，R是不可水解取代基，X 是可水解取代基，b是0-2的整數(shù)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項的復(fù)合組合物，其中用于所述水解 產(chǎn)物和/或縮合物的至少一種可水解硅烷具有3個可水解取代基。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項的復(fù)合組合物，其中用于所述水解 產(chǎn)物和/或縮合物的至少一種可水解硅烷具有3個可水解取代基和其 中在所述水解產(chǎn)物和/或縮合物中T0和T1的總和的豐度比小于50％，T3 的豐度比大于15％，其中

T0：沒有與另一個硅烷分子鍵接的Si原子；

T1：通過硅氧烷鍵與一個硅烷分子鍵接的Si原子；

T2：通過硅氧烷鍵與兩個硅烷分子鍵接的Si原子；和

T3：通過硅氧烷鍵與三個硅烷分子鍵接的Si原子；和

TX的豐度比(％)＝TX/(T0+T1+T2+T3)×100％，其中

X＝0、1、2或3。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項的復(fù)合組合物，其中所述可水解烷 基硅烷是烷基三烷氧基硅烷，所述可水解芳基硅烷是芳基三烷氧基硅 烷，和/或所述含環(huán)氧基的可水解硅烷是縮水甘油氧基烷基三烷氧基 硅烷。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項的復(fù)合組合物，其中所述含至少2 個環(huán)氧基的有機化合物選自單體、低聚物或聚合物，優(yōu)選有機環(huán)氧樹 脂。

11.根據(jù)權(quán)利要求1-10中任一項的復(fù)合組合物，其中所述含至少 2個環(huán)氧基的有機化合物b)在室溫下呈固態(tài)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1-11中任一項的復(fù)合組合物，其中所述含至少 2個環(huán)氧基的有機化合物b)選自包含結(jié)構(gòu)單元(iv)的化合物

其中n表示整數(shù)。

13.根據(jù)權(quán)利要求1-11中任一項的復(fù)合組合物，其中所述含至少 2個環(huán)氧基的有機化合物b)選自由通式(v)表示的化合物

其中n表示整數(shù)。