[發明專利]機電存儲器、使用其的電路、和機電存儲器驅動方法

無效

• 申請號: 200680002694.6
• 申請日: 2006-06-21
• 公開（公告）號: CN101107711A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發明（設計）人: 內藤康幸
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: H01L27/10
• 分類號: H01L27/10;B81B3/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 肖鸝

1.一種在基底上形成的機電存儲器，包括：

在基底上形成使得存儲單元插入在第一電極和第二電極之間的存儲部；和

具有可移動的電極的開關部，可移動電極是在所述基底上形成的支柱部上方延伸的梁形構件，同時以預定距離與第一電極隔離，并且所述開關部形成使得可以通過由靜電力引起的可移動電極的位移而在第一電極和可移動電極之間形成導電路徑，并且

其中進行了將數據寫入所述存儲器和從所述存儲器讀出的操作。

2.根據權利要求1的機電存儲器，其中所述靜電力由位于存儲部附近的驅動電極和所述可移動電極之間的電位差所產生。

3.根據權利要求2的機電存儲器，其中所述驅動電極由兩個并列布置于所述存儲部兩側的靜止電極所配置。

4.根據權利要求1的機電存儲器，其中所述靜電力由所述第二電極和可移動電極之間的電位差產生。

5.根據權利要求1的機電存儲器，其中所述存儲部由多個并列布置的存儲部配置。

6.根據權利要求5的機電存儲器，其中在所述存儲部中，所述第一和第二電極的至少之一連接公共電位。

7.根據權利要求5的機電存儲器，其中在存儲部中，所述第一和第二電極的至少之一連接到相互獨立的電位。

8.根據權利要求2的機電存儲器，其中所述驅動電極形成從而鄰接所述存儲部或通過覆蓋所述驅動電極的側壁的絕緣膜鄰接所述支柱部。

9.根據權利要求2的機電存儲器，其中所述驅動電極通過絕緣膜與所述可移動電極相對。

10.根據權利要求4的機電存儲器，其中所述支柱部形成從而通過覆蓋所述存儲部的側壁的絕緣膜鄰接存儲部。

11.根據權利要求1的機電存儲器，其中第二存儲部布置使得橫過所述可移動電極與存儲部對稱。

12.根據權利要求1的機電存儲器，其中所述存儲器形成使得存儲部的面積比與可移動電極對置的面積大。

13.根據權利要求1的機電存儲器，其中所述存儲器形成使得所述第二電極的面積比第一電極的面積大。

14.根據權利要求1的機電存儲器，其中多個機電存儲器形成于所述基底上，并且所述可移動電極構成位線。

15.根據權利要求2的機電存儲器，其中多個機電存儲器形成于所述基底上，并且所述驅動電極構成字線。

16.根據權利要求4的機電存儲器，其中多個機電存儲器形成于所述基底上，并且所述第二電極構成位線。

17.根據權利要求1的機電存儲器，其中所述存儲單元由絕緣材料形成。

18.根據權利要求1的機電存儲器，其中所述存儲單元由介電材料形成。

19.根據權利要求1的機電存儲器，其中在其間插入存儲單元的所述電極由磁材料形成。

20.一種使用根據權利要求1至19任一項的機電存儲器的電路。

21.一種驅動機電存儲器進行將數據寫入所述存儲單元或從所述存儲單元讀出的方法，所述方法包括：

提供所述機電存儲器，所述機電存儲器包括：

在基底上形成使得存儲單元插入在第一電極和第二電極之間的存儲部；和

具有可移動電極的開關部，可移動電極是在所述基底上形成的支柱部上方延伸的梁形構件，同時以預定距離與第一電極隔離，并且開關部形成使得可以通過所述第二電極和可移動電極之間的電位差所產生的靜電力引起的可移動電極的位移而在第一電極和可移動電極之間形成導電路徑，并且

控制所述第二電極的電位，使得在寫入中寫入電壓比寫入開關驅動電壓和讀出開關驅動電壓高，由此進行寫入和讀出。