[實用新型]芯片干燥機

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200620175106.6
• 申請日: 2006-12-20
• 公開（公告）號: CN200993516Y
• 公開（公告）日: 2007-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉家寬
• 申請（專利權(quán)）人: 劉家寬
• 主分類號: F26B3/06
• 分類號: F26B3/06;F26B15/04
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 湯保平

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型提供的芯片干燥機，是為一種搭配內(nèi)部以高溫的鈍氣沖刷，以及旋轉(zhuǎn)盤將芯片脫水干燥的單臺獨立式的芯片干燥機。

背景技術(shù)

按，芯片在制作的過程中，必須加以清洗，并予以干燥脫水，其相關(guān)的專利案件，如同中國臺灣專利公告第588399號、第492053號、第512405號等專利案所述，惟其共同的缺點，就是“清洗”及“干燥”的程序為同一個機械(或程序)所完成，故該機械多半設(shè)有傳動機構(gòu)，將芯片移動清洗及干燥的程序，也有在同一空間，經(jīng)歷清洗及干燥的制程，由于兩種不同的制程相互結(jié)合在一臺機械之中，其機械的零件較易生故障，且一旦某一程序故障，亦將影響下一個程序的運作，因此會使整個生產(chǎn)線停頓，是其缺點，故產(chǎn)業(yè)上應(yīng)需要有獨立式的芯片干燥機，使芯片在制程中，將清洗及干燥各別獨立，才能不因某一制程的失誤，影響到另一制程的進行，是業(yè)界所期盼的。

再如中國臺灣公告第514238號專利案，為一種芯片元件電極自動烘干機，其雖為一獨立的機械，但其構(gòu)件較多，主要包含機體、升降機構(gòu)、驅(qū)動機構(gòu)、熱氣循環(huán)裝置、導料機構(gòu)及平衡裝置等構(gòu)件所組成，當驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動時便帶動其余構(gòu)件作動并產(chǎn)生同步運轉(zhuǎn)，而各構(gòu)件是經(jīng)適當?shù)恼鲜贡舜碎g具有特定關(guān)聯(lián)的動作順序，并由升降機構(gòu)使載料片下降，另由導料機構(gòu)及平衡裝置使載料片能平衡位移至驅(qū)動機構(gòu)的開口夾桿中，經(jīng)驅(qū)動機構(gòu)的運轉(zhuǎn)過程中由熱氣循環(huán)裝置所產(chǎn)生的循環(huán)熱氣將載料片表面烘干后，再由一儲料導板將晶體載料片導向儲料處儲存，而達烘干的目的；惟此種以傳動升降的方式作為干燥的機構(gòu)，其空間占用較大，且結(jié)構(gòu)仍為復雜，同時耗費能源，是其缺點，故業(yè)界所需的應(yīng)是體積較小，節(jié)省能源且零件較少的芯片干燥機方符合產(chǎn)業(yè)界的需求。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的主要目的，主要是獨立設(shè)置一芯片的干燥機，而干燥的方式，是采用旋轉(zhuǎn)脫水及熱鈍氣的沖刷雙重方式進行，故結(jié)構(gòu)較為精簡而不占體積，其內(nèi)部亦具有兩套排水及導氣的管件，能將水氣予以有效去除，是本實用新型的特色。

為達到本實用新型的目的，本實用新型可以是以下列的結(jié)構(gòu)及組成來達成的：

一種芯片干燥機，具有一殼體，其內(nèi)設(shè)有控制單元及控制電路板，其特征在于，并且殼體的內(nèi)部包含有：

一濾水筒，包含有一筒體及樞接的上蓋；其中上蓋具有一氣箱，在該氣箱的頂部設(shè)有一輸入高溫氣體的氣口，且氣箱的底部至少設(shè)有一根噴柱，該噴柱的末端具有噴口；

一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，設(shè)于筒體下方，包括一馬達，延伸一旋轉(zhuǎn)主軸，并在末端固設(shè)并帶動有一轉(zhuǎn)盤，該轉(zhuǎn)盤具有容置芯片的置放槽，而轉(zhuǎn)盤本身又具有多數(shù)個篩孔；

一集水箱設(shè)于筒體內(nèi)，介于轉(zhuǎn)盤與馬達之間，并僅供主軸穿過，該集水箱具有一傾斜的底部，以利脫水后的水能聚集一個角落，并自一液體漏孔排出，另在集水箱側(cè)壁設(shè)一出氣孔，穿出于殼體，與一回收氣管相接；

一加熱器能將收集的氣體加熱，并由一注氣管導入于上蓋的氣口。

其中，噴柱為兩根以上。

其中，噴柱的噴口不只一個，且分布在噴柱上。

其中，殼體一側(cè)設(shè)有側(cè)門。

其中，上蓋設(shè)有傳感器。

其中，上蓋側(cè)邊設(shè)有把手。

其中，置放槽在適當位置擴設(shè)有方便拿取的弧邊。

其中，加熱器一側(cè)設(shè)有壓力控制器以調(diào)節(jié)壓力。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型的芯片干燥機，其干燥的方式，是采用旋轉(zhuǎn)脫水及熱鈍氣的沖刷雙重方式進行，故結(jié)構(gòu)較為精簡而不占體積，其內(nèi)部亦具有兩套排水及導氣的管件，能將水氣予以有效去除，是本實用新型的特色。

附圖說明

為使審查員能更進一步明了本實用新型的內(nèi)容，請配合參閱附圖及實施例，詳細說明如后，其中：

圖1是本實用新型的立體結(jié)構(gòu)外觀圖。

圖2是本實用新型的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。

圖3是本實用新型的正視結(jié)構(gòu)圖。

圖4是本實用新型的濾水筒將上蓋開啟的側(cè)視結(jié)構(gòu)。

圖5是本實用新型的濾水筒將上蓋開啟的局部立體結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

請參看圖1所示，本實用新型具有一適當大小的殼體10，其至少一側(cè)是設(shè)有側(cè)門11，以利組裝或檢修內(nèi)部的機件，而其上方一側(cè)設(shè)有控制單元12，而在內(nèi)部的下方則設(shè)有控制電路板13(此皆為電子電路的基本設(shè)備，并非本實用新型的重點，故并不多加贅述)，請配合參看圖1、圖2、圖3所示，殼體10的內(nèi)部至少包含有：