[實(shí)用新型]一種用于高靈敏氦質(zhì)譜檢漏儀的聚焦離子源無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200620172514.6 | 申請日： | 2006-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN201075369Y | 公開（公告）日： | 2008-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 付德君;黎明;劉家瑞;劉傳勝 | 申請（專利權(quán)）人： | 武漢大學(xué) |
| 主分類號： | H01J49/10 | 分類號： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 武漢華旭知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 | 代理人： | 江釗芳 |
| 地址： | 43007*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 靈敏 氦質(zhì)譜 檢漏 聚焦 離子源 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于高靈敏氦質(zhì)譜檢漏儀的聚焦離子源，由檢漏口①、發(fā)射針腔②、鎢針③、引出極⑤、聚焦極⑥和電路系統(tǒng)⑦組成，其特征在于鎢針③直徑為0.45～0.55mm，鎢針的尖端直徑為5～10μm，鎢針尖上還有納米針尖④，鎢針置于發(fā)射針腔②中，發(fā)射針腔與檢漏口相連，納米針尖接正偏壓、引出極接負(fù)電壓。
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