[實用新型]射頻板條CO2激光器匹配系統可變電容器的自動調節裝置無效
| 申請號: | 200620170812.1 | 申請日: | 2006-12-27 |
| 公開(公告)號: | CN200994038Y | 公開(公告)日: | 2007-12-19 |
| 發明(設計)人: | 高允貴;胡浩;丁義國;李向陽;顧鴻璋;朱永祥;牟文智;張龍華 | 申請(專利權)人: | 江蘇新潮科技集團有限公司 |
| 主分類號: | H01S3/0975 | 分類號: | H01S3/0975;H01S3/097;H01S3/09;H01S3/10 |
| 代理公司: | 江陰市同盛專利事務所 | 代理人: | 唐紉蘭 |
| 地址: | 214431*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 射頻 板條 co sub 激光器 匹配 系統 可變電容器 自動 調節 裝置 | ||
1、一種射頻板條CO2激光器匹配系統可變電容器的自動調節裝置,其特征在于:它包括可變電容C1與C2、電感L、同軸電纜(8)、射頻板條CO2激光器(7)、射頻源(1)、微波檢波器(2)、小信號放大電路(3)、PLC(4)和步進電機(5),將可變電容C1和C2的正極用電感L相連,將可變電容C1的正極與50Ω的同軸電纜(8)相連,將可變電容C2的正極與射頻板條CO2激光器(7)的電極相連,將可變電容C1和C2的負極接地,構成了π型網絡阻抗匹配器(6),將同軸電纜(8)與射頻源(1)的輸出端相連,將射頻源(1)的反向定向耦合器的反射功率監測端與微波檢波器(2)的輸入端相連,微波檢波器(2)的輸出端與小信號放大電路(3)的輸入端相連,小信號放大電路(3)的輸出端與PLC(4)的模擬量輸入端相連,其中PLC(4)采用晶體管輸出型的PLC來實現脈沖輸出功能,PLC(4)的脈沖輸出端與步進電機(5)的控制器相連,步進電機(5)的輸出軸端連接可變電容C2。
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