[實用新型]薄膜材料電/熱/力耦合作用下性能測試系統無效
| 申請號： | 200620168832.5 | 申請日： | 2006-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN201034898Y | 公開（公告）日： | 2008-03-12 |
| 發明（設計）人： | 張廣平;張濱;于慶源 | 申請（專利權）人： | 中國科學院金屬研究所 |
| 主分類號： | G01N3/60 | 分類號： | G01N3/60;G01N33/00 |
| 代理公司： | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 | 代理人： | 張志偉 |
| 地址： | 110016遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 材料 耦合 作用 性能 測試 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種薄膜材料電/熱/力耦合作用下性能的測試系統，其特征在于整個電/熱/力耦合性能測試系統由三部分組成：
(1)樣品加電部分，由電源、信號發生器和功率放大器組成，電源通過由信號發生器指揮的功率放大器與樣品相連，負責給樣品施加電流；
(2)與樣品連接部分，由四個微動機械手和四個金屬探針組成，金屬探針被固定在微動機械手上，通過控制機械手的移動，使金屬探針的針尖接觸到待測樣品的兩端，兩個微動機械手通過導線與功率放大器的兩個端口相連；
(3)測試與分析部分，包括示波器以及與示波器相連的計算機，兩個微動機械手通過導線與示波器的兩個端口分別相連，負責進行數據分析與反饋控制，計算機將分析結果通過示波器傳遞給信號發生器，然后給樣品施加修正后的電流。
2.按照權利要求1所述的薄膜材料電/熱/力耦合作用下性能的測試系統，其特征在于：還包括實時觀察部分，包括對樣品進行實時觀察與攝錄像用的掃描電鏡或高倍光學顯微鏡。
3.按照權利要求1所述的薄膜材料電/熱/力耦合作用下性能的測試系統，其特征在于：金屬探針的直徑為1～5μm。
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