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[實用新型]金屬波紋管氦質譜檢漏輔助平臺無效

專利信息
申請號: 200620168699.3 申請日: 2006-12-29
公開(公告)號: CN200996885Y 公開(公告)日: 2007-12-26
發明(設計)人: 劉繼文;豐艷春;劉謙 申請(專利權)人: 沈陽儀表科學研究院
主分類號: G01M3/02 分類號: G01M3/02
代理公司: 沈陽科威專利代理有限責任公司 代理人: 崔紅梅
地址: 110043遼寧*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 金屬 波紋管 氦質譜 檢漏 輔助 平臺
【權利要求書】:

1、金屬波紋管氦質譜檢漏輔助平臺裝置,包括氦質譜檢漏儀、真空預抽系統、真空管系、多工位操作臺,其特征在于工作臺上有多個并列的凸臺,凸臺內有凹腔和中心孔,固定波紋管的拉壓桿位于工作臺的中心孔,拉壓桿中心孔有徑向氣孔,下部徑向氣孔與均有壓力表和電磁閥的真空管路及檢漏儀管路連通,拉壓桿下端由銷與氣缸活塞連接。

2、根據權利要求1所述的金屬波紋管氦質譜檢漏輔助平臺,其特征在于套有密封膠圈的拉壓桿為不等徑圓柱體,大徑部分小于工作臺凸臺內凹腔,小徑部分小于凹腔內中心孔,大徑端的中心孔是盲孔,在盲端之前有徑向孔與真空管路相通,大徑部分有多個徑向孔與中心孔相通。

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