[實用新型]MEMS拉伸扭轉疲勞特性實驗裝置

無效

• 申請號: 200620158419.0
• 申請日: 2006-11-10
• 公開（公告）號: CN200993629Y
• 公開（公告）日: 2007-12-19
• 發明（設計）人: 尚德廣;賈冠華;李立森;王瑞杰;孫國芹;鄧靜;劉豪
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G01N3/22
• 分類號: G01N3/22;G01N3/08;G01M19/00
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司
• 代理人: 沈波

1、MEMS拉扭疲勞特性實驗裝置，其特征在于：疲勞試樣(11)位于圓心處，疲勞試樣(11)的上端面支撐有四個沿圓周方向分布的扇形懸置平板，即第一懸置平板(40)、第二懸置平板(44)、第三懸置平板(42)、第四懸置平板(301)，四個懸置平板與疲勞試樣(11)為一個整體并通過疲勞試樣(11)下面的底電極與接地電極(1)相連而接地；其中的三個懸置平板(40、44、42)的下面都設置有與之對應的底電極(41、45、43)構成三個平行板電容器(4、13、8)，第一平行板電容器(4)、第二平行板電容器(13)的底電極(41、45)通過拉伸驅動電極(14)接交流電，構成一對平行板電容驅動器，使疲勞試驗(11)受到拉伸應力；第三平行板電容(8)的底電極(43)通過拉伸檢測電極(9)與振幅檢測電路相連構成平行板電容傳感器，用于檢測疲勞試樣(11)拉伸的幅度；在第三懸置平板(42)、第四懸置平板(301)的沿半徑方向的兩個側面分別設置有懸置梳齒(304、306、302、308)，四個懸置梳齒分別與四個固定梳齒(400、404、402、406)配合構成四個梳狀電容(5、9、2、15)，其中，第一固定梳齒(404)、第二固定梳齒(402)通過扭轉驅動電極(10)接交流電，使得第一梳狀電容(2)、第二梳狀電容(9)構成一對梳狀電容驅動器，使疲勞試驗(11)受到扭轉應力；第三梳狀電容(5)、第四梳狀電容(15)構成一對梳狀電容傳感器，通過與第三固定梳齒(400)、第四固定梳齒(406)相連的扭轉檢測電極(6)接振幅檢測電路，用于檢測疲勞試驗(11)的扭轉程度。

2、根據權利要求1所述的MEMS拉扭疲勞特性實驗裝置，其特征在于：所述的試驗試驗(11)由上下兩個半徑不同的圓柱體組成，兩個圓柱體沿著軸向連接，連接處的臺階(71)相當于傳統疲勞試樣缺口的作用。