[實用新型]平行板電容驅動的微結構扭轉疲勞實驗裝置

無效

• 申請號: 200620158418.6
• 申請日: 2006-11-10
• 公開（公告）號: CN200975967Y
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發明（設計）人: 尚德廣;賈冠華;李立森;王瑞杰;孫國芹;鄧靜;劉豪
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G01N3/22
• 分類號: G01N3/22;G01N3/08;G01M19/00
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司
• 代理人: 沈波

1、平行板電容驅動的微結構扭轉疲勞實驗裝置，其特征在于：主要包括有驅動電極(1)、檢測電極(2)、左側實驗試樣(7)、右側實驗試樣(8)、第一底電極(5)、第二底電極(6)、連為一體的第一懸置平板(9)和第二懸置平板(10)；其中，在第一懸置平板(9)和第二懸置平板(10)之間的中軸線的兩端并沿著中軸線的方向分別開有缺口，缺口處分別設置有左側實驗試樣(7)和右側實驗試樣(8)，左側實驗試樣(7)和右側實驗試樣(8)的一端與兩個懸置平板之間的中軸線相聯，另一端分別連到左固定塊(3)和右固定塊(4)上，由第一懸置平板(9)、第二懸置平板(10)及左側實驗試樣(7)和右側實驗試樣(8)組成的懸置部分通過左固定塊(3)和右固定塊(4)固定懸空并通過右固定塊(4)與接地電極(11)相連；第一懸置平板(9)和設置在其下方的第一底電極(5)組成平行板電容驅動器，第二懸置平板(10)和設置在其下方的第二底電極(6)組成平行板電容傳感器；第一底電極(5)通過驅動電極(1)接交流電，第二底電極(6)通過檢測電極(2)與外部振幅檢測電路相連，用于檢測懸臂梁試樣的扭轉角度。

2、根據權利要求1所述的平行板電容驅動的微結構扭轉疲勞實驗裝置，其特征在于：在左側懸臂梁試樣(7)和右側實驗試樣(8)的側面上開有缺口。