[實用新型]干涉儀裝置

無效

• 申請號: 200620153946.2
• 申請日: 2006-11-30
• 公開（公告）號: CN200979404Y
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發明（設計）人: 肖瀾
• 申請（專利權）人: 佛山普立華科技有限公司
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種干涉儀裝置，其包括一被測鏡片，一X軸調節單元，用來調整鏡片在X軸方向的位移，一Y軸調節單元，用來調整鏡片在Y軸方向的位移，XY軸調節單元整合在一起，一Z軸調節單元，用來調整鏡片在Z軸方向的位移，一基準鏡片，一被測鏡片支座，用來放置被測鏡片，以及一主體，該主體內包括有干涉儀所需的一般光學系統單元，其特征在于：該干涉儀的Z軸調節單元置于干涉儀的主體之外，該Z軸調節單元包括一Z軸調節單元底座，復數個Z軸導桿，一Z軸調節螺桿，一Z軸調節螺母以及使Z軸調節單元組合在一起復數個螺絲；

復數個Z軸導桿的一端固定于XY軸調節單元上，另一端穿過具有長軸承組件的Z軸調節單元底座；該底座通過緊固螺絲固定于干涉儀本體上，Z軸調節螺桿通過緊固螺絲固定于Z軸調節單元底座上，Z軸調節螺母套于Z軸調節螺桿上；

Z軸調節螺桿與XY軸調節單元互不接觸，Z軸調節螺母的部分置于XY軸調節單元下面，并接觸。

2、根據權利要求1所述的一種干涉儀裝置，其特征在于上述Z軸調節螺母可以用手直接調節。

3、根據權利要求1所述的一種干涉儀裝置，其特征在于Z軸導桿為光滑導桿，該導桿數與Z軸調節單元上的長軸承組件數一致。

4、根據權利要求1所述的一種干涉儀裝置，其特征在于，其還可以包括一電子馬達控制單元，該單元與Z軸調節螺桿、Z軸調節螺母相關聯，控制調節螺母的高度，該電子馬達單元可安裝于Z軸調節單元底座中。

5、根據權利要求4所述的一種干涉儀裝置，其特征在于，該電子馬達可為一步進馬達。

6、一種干涉儀裝置，其包括一被測鏡片，一X軸調節單元，用來調整鏡片在X軸方向的位移，一Y軸調節單元，用來調整鏡片在Y軸方向的位移，XY軸調節單元整合在一起，一Z軸調節單元，用來調整鏡片在Z軸方向的位移，一基準鏡片，一被測鏡片支座，用來放置被測鏡片，以及一主體，該主體內包括有干涉儀所需的一般光學系統單元，其特征在于：該干涉儀的Z軸調節單元置于干涉儀的主體之外，該Z軸調節單元包括一Z軸調節單元底座，復數個Z軸導桿，一Z軸調節直桿，一Z軸調節環，使Z軸調節單元組合在一起復數個螺絲以及一氣動裝置；

復數個Z軸導桿的一端固定于XY軸調節單元上，另一端穿過具有長軸承組件的Z軸調節單元底座；該底座通過緊固螺絲固定于干涉儀本體上，Z軸調節直桿通過緊固螺絲固定于Z軸調節單元底座上，Z軸調節環緊套于Z軸調節直桿上，氣動裝置固定于底座上并控制調節環；

Z軸調節直桿與XY軸調節單元互不接觸，Z軸調節環的部分置于XY軸調節單元下面，并接觸。