[實(shí)用新型]一種極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200620149569.5 | 申請(qǐng)日： | 2006-12-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201078747Y | 公開（公告）日： | 2008-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鞏巖 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01M11/00 | 分類號(hào)： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 長(zhǎng)春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130031吉*** | 國(guó)省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 紫外 成像 光學(xué)儀器 質(zhì)量 測(cè)試 裝置 | ||
1.一種用于6nm-100nm波段的極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，光源(1)產(chǎn)生的平行光通過鑒別率板(2)后經(jīng)反射鏡(3)和(4)，最后經(jīng)過待檢成像系統(tǒng)(5)在探測(cè)器(6)上成像，其特征是：所述鑒別率板(2)是精密刻畫的金屬柵網(wǎng)(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于6nm-100nm波段的極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，其特征是：所述光源(1)為激光等離子體極紫外光源。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于6nm-100nm波段的極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，其特征是：所述網(wǎng)柵網(wǎng)格精度2-25μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于6nm-100nm波段的極紫外成像光學(xué)儀器成像質(zhì)量測(cè)試裝置，其特征是：所述網(wǎng)柵用金屬鎳制成。
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