[實用新型]硅片清洗籃的同步夾持機械手

無效

• 申請號: 200620148205.5
• 申請日: 2006-10-31
• 公開（公告）號: CN200967199Y
• 公開（公告）日: 2007-10-31
• 發明（設計）人: 盛金龍;杜飛龍;王銳廷;王晨;邊寶孝
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B25J1/06
• 分類號: B25J1/06;B25J15/00
• 代理公司: 北京中宸聯合知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉蘭英

1、一種硅片清洗籃的同步夾持機械手，其特征在于：該機械手包括有同步爪(1)、轉桿(2)、導向斜塊(3)、導向軸(4)、固定塊(9)、作用汽缸(6)和支撐外殼(8)，所述同步爪(1)固定在轉桿(2)的兩端，所述轉桿(2)設置在支撐外殼(8)上，所述固定塊(9)一端與轉桿(2)固定連接，另一端上設有爬升滾輪(5)，該爬升滾輪(5)與導向斜塊(3)滾動接觸；所述導向軸(4)兩端固定在支撐外殼(8)上，導向斜塊(3)套設在導向軸(4)上；所述作用汽缸(6)固定在支撐外殼(8)上，該作用汽缸(6)的伸縮軸與導向斜塊(3)連接。

2、根據權利要求1所述的硅片清洗籃的同步夾持機械手，其特征在于：該機械手包括有復位彈簧(7)，該復位彈簧(7)一端固定在支撐外殼(8)上，另一端與固定塊(9)連接。