[實用新型]一種釬焊結合裝置

無效

• 申請號: 200620140946.9
• 申請日: 2006-12-12
• 公開（公告）號: CN201020584Y
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B23K3/00
• 分類號: B23K3/00;B23K3/047;B23K3/08
• 代理公司: 寧波誠源專利事務所有限公司
• 代理人: 徐雪波

技術領域

本實用新型涉及焊接領域，特別是一種靶材釬焊用的釬焊結合裝置。

背景技術

常規用釬焊方法制備濺射靶材組件的一個步驟過程是：首先，將靶材組件加熱到一定溫度，該溫度需高于釬料熔化溫度而低于靶材的再結晶溫度；然后，施于靶材組件以一定的壓力，促使靶材組件中釬料流動，進而促進釬料分布均勻；最后，室溫自然冷卻靶材組件，完成焊接。該常規方法的一個缺點是：把靶材組件加熱到一個較低的溫度，導致了釬料流動性能下降，從而影響靶材組件最終的結合率下降。

要提高靶材組件的結合率，則必須改善釬焊時釬料的流動性能，為此，必須提高釬料的溫度，亦即釬焊時靶材組件所需要加熱的溫度，然而，當為了提高釬料溫度而將靶材組件加熱到較高溫度時，靶材內部有可能發生再結晶，靶材內部組織的晶粒大小，晶粒取向等發生變化，從而影響其濺射性能。

根據大量實驗表明，如果將靶材組件加熱到較高溫度，但嚴格控制該高溫狀態的時間，觀察不到靶材內部晶粒大小和取向的明顯變化。本實用新型即可提供一種滿足這樣條件的裝置，利用本實用新型裝置釬焊能獲得焊接結合率高，但又不影響濺射性能的靶材。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對上述現有技術現狀而提供一種能有效提高靶材組件的溫度，并能嚴格控制該溫度狀態時間的釬焊結合裝置。

本實用新型解決上述技術問題所采用的技術方案為：該釬焊結合裝置，其包括上、下疊置的上支架和下支架，其特征在于：所述下支架上設置有加熱平板，在加熱平板下端面固定有冷卻箱，冷卻箱的一端設有進水管，另一端設有出水管，所述上支架固定有氣缸基座，在氣缸基座上固定有氣缸，所述氣缸的位于活塞兩側的兩個氣室分別連通到兩根上、下氣管，氣缸活塞連接有頂桿，所述頂桿的另一端穿過氣缸基座和上支架并連接有壓頭。

為給加熱平板快速均勻的加熱，并實時獲得加熱平板的溫度，所述加熱平板內部可嵌有加熱管和熱電偶。

為避免頂桿和壓頭落下時靶材組件突然受力而產生壓痕，所述氣缸基座和上支架之間的氣缸頂桿上可固定有一壓板，所述壓板的兩端之下分別設置有彈簧，彈簧的下端與上支架相抵，這樣的方式取代常規的剛性連接，起到緩沖作用。

為了保持氣缸干燥與調節氣體壓力和方向的方便，在所述氣缸的進氣管路上依次設置有水汽過濾器、壓力調節閥、壓力表和雙向電磁閥。

為了促進冷卻水的流動速度，加速靶材組件的冷卻，所述冷卻箱的進水管上還可加設一進氣管，所述進氣管上設有帶簧單向閥，防止進水管中的冷卻水回流至氣閥。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于通過加熱平板內部的加熱管把靶材組件加熱到較高溫度，提高靶材組件之間釬料的流動性能，從而提高最終的焊接結合率，并且通過緊貼于加熱平板下端面的冷卻箱迅速冷卻被加熱到高溫的組件，嚴格控制該高溫狀態的時間，防止因再結晶而影響靶材的濺射性能。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的結構示意圖；

圖2為圖1中加熱平板和水箱的側視圖；

圖3為圖2的俯視圖。

具體實施方式

以下結合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。

如圖1-3所示為本實用新型實施例一種濺射靶材釬焊用結合裝置，其包括有兩個上下疊置的上支架1和下支架2，在下支架2上固定有內部均勻嵌設二十四根加熱管32的加熱平板3，在加熱管32上方的接近于加熱平板3上端面的位置處插有一根熱電偶31，用于實時測量加熱平板3的溫度，當給加熱管32通以電源，并且把熱電偶31的信號反饋到控制箱，這樣就構成了釬焊結合裝置的加熱系統；

緊貼加熱平板3的下端面是一冷卻箱4，其左端有一進水管41用于冷卻水進入，右端有一出水管44用于經過冷卻箱4的冷卻水排出，并且在進水管41進入冷卻箱4之前還加設有一帶帶簧單向閥42的進氣管43，通過來自該進氣管43的氣體加速冷卻箱4內的水流速度，從而迅速降低加熱平板3的溫度，此即釬焊結合裝置的冷卻系統；