[實(shí)用新型]將化學(xué)品原液量稀釋的裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200620138337.X
• 申請(qǐng)日: 2006-09-22
• 公開（公告）號(hào): CN201046385Y
• 公開（公告）日: 2008-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳厚名
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 崇越科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B01F3/08
• 分類號(hào): B01F3/08;B01F15/00
• 代理公司: 北京蘭臺(tái)恒信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李連生

技術(shù)領(lǐng)域：

本實(shí)用新型是關(guān)于一種將酸或堿等化學(xué)品的原液量稀釋的方法及用于該稀釋的設(shè)備。更詳而言之，本實(shí)用新型關(guān)于一種將酸或堿等化學(xué)品的原液量稀釋的方法，當(dāng)例如以純水稀釋正光阻用的堿性顯影劑時(shí)，其能以較高的準(zhǔn)確度及效率達(dá)成所欲的稀釋濃度，及關(guān)于一種用于執(zhí)行該稀釋方法的設(shè)備。

背景技術(shù)

在制造精密零件如半導(dǎo)體元件時(shí)，使用一種具有嚴(yán)格控制濃度的堿液。例如，使用堿性顯影劑如氫氧化四甲銨(TMAH)的溶液當(dāng)作正光阻的顯影劑，需要調(diào)整該顯影劑的濃度使相對(duì)于目標(biāo)濃度(例如2.38重量％)的容差通常為+-0.001重量％內(nèi)。請(qǐng)注意，這里的容差僅為一范例。

傳統(tǒng)上，一般實(shí)務(wù)是由顯影劑制造商運(yùn)送已經(jīng)調(diào)整到目標(biāo)濃度的顯影劑給使用場(chǎng)所。然而該實(shí)務(wù)在實(shí)施時(shí)需要高的運(yùn)送成本，因此最近已經(jīng)研究運(yùn)送顯影劑原液量及在使用場(chǎng)所以純水稀釋原液量。于是，已經(jīng)研究在現(xiàn)場(chǎng)(使用場(chǎng)所)將原液量稀釋以制備目標(biāo)濃度的顯影劑的方法和設(shè)備。

例如，習(xí)知技術(shù)是提出一種顯影劑原液量稀釋設(shè)備，其中將堿性顯影劑的原液量和純水送至一具有混合裝置的純水槽，及由攪拌槽取出一部分的混合溶液以測(cè)量溶液的導(dǎo)電度，同時(shí)控制該送至混合裝置的原液量和純水的流速。此稀釋設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)為能快速且及時(shí)地藉導(dǎo)電度法(電極法)來(lái)分析混合溶液的濃度。

然而該使用導(dǎo)電度法的稀釋技術(shù)有測(cè)量的精確度和穩(wěn)定性的問(wèn)題，如因?yàn)殡姌O的溫度變化而易于產(chǎn)生測(cè)量誤差，或是因?yàn)殡姌O表面的污染或電極性能的變差而放大該測(cè)量誤差，因此依照該習(xí)用稀釋技術(shù)所制備的顯影劑的精確度有限。因此，已經(jīng)期望開發(fā)出一種設(shè)備，其能以較高的精確度和效率用純水稀釋顯示原液量及制備目標(biāo)濃度的顯影劑。

由于本案創(chuàng)作人對(duì)于主題研究的結(jié)果，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)在藉稀釋原液量而制備堿性顯影劑時(shí)，雖然能藉電位滴定法能以較高精確度來(lái)分析溶液的濃度，但是滴定法耗用相當(dāng)長(zhǎng)的分析時(shí)間，而本身不能立即應(yīng)用于所供應(yīng)的原液量和純水的流速的連續(xù)控制。再者，本案創(chuàng)作人認(rèn)真地研究根據(jù)上述發(fā)現(xiàn)所得到的知識(shí)以便最佳利用滴定法的優(yōu)點(diǎn)，及是藉合并該電位滴定法與特殊的處理法來(lái)混合及處理酸或堿等化學(xué)品的原液量和純水時(shí).可以在短時(shí)間已較高的精確度將混合溶液帶到目標(biāo)濃度(標(biāo)靶濃度)。

實(shí)用新型內(nèi)容：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種將酸或堿等化學(xué)品的原液量稀釋的裝置，其能以較高的準(zhǔn)確度和效率達(dá)成所欲的濃度稀釋。

為達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型利用一種用純水將酸或堿等化學(xué)品的原液量稀釋以制備一種目標(biāo)濃度的混合溶液的方法予本實(shí)用新型的裝置上，其方法步驟包含：

(1)以目標(biāo)濃度過(guò)量的原液和足量的水作稀釋，稀釋后經(jīng)由電位滴定法分析了解其濃度與目標(biāo)濃度差后，計(jì)算出水的不足額量，再加入100％不足額的水，以達(dá)目標(biāo)稀釋的濃度。

(2)稀釋后，續(xù)經(jīng)由電位滴定法分析了解其濃度與目標(biāo)濃度差后，計(jì)算出水或原液的不足額量，再加入100％不足額的水或原液量，以達(dá)目標(biāo)稀釋的濃度。

依據(jù)上述方法步驟，本實(shí)用新型所提供的一種將酸或堿等化學(xué)品的原液量稀釋的裝置可包括有：

一原液量槽，其內(nèi)貯存原液量；

一制備槽，其中將原液量和純水混合以制備一種目標(biāo)濃度的混合溶液；

一原液量供給系統(tǒng)，藉以將原液量由該原液量槽供應(yīng)給該制備槽；

一純水供給系統(tǒng)，藉以將純水供應(yīng)給該制備槽；

一使用電位滴定法的濃度測(cè)量系統(tǒng)，藉以測(cè)量該制備槽中的混合溶液的濃度；

一控制系統(tǒng)，控制該些元件的操作及具有功能為使該制備槽中的混合溶液的濃度測(cè)量值與預(yù)設(shè)目標(biāo)濃度的門限作比較，先將目標(biāo)濃度過(guò)量的原液和足量的水作稀釋，稀釋后經(jīng)由電位滴定法分析了解其濃度與目標(biāo)濃度差后，計(jì)算出水的不足額量，再加入100％不足額的水，以達(dá)目標(biāo)稀釋的濃度，稀釋后續(xù)再經(jīng)由電位滴定法分析了解其濃度與目標(biāo)濃度差后，計(jì)算出水或原液的不足額量，再加入100％不足額的水或原液量，送至該制備槽。

本實(shí)用新型的有益效果是：所提供一種將酸或堿等化學(xué)品的原液量稀釋的裝置，能以較高的準(zhǔn)確度和效率達(dá)成所需要的濃度稀釋。

附圖說(shuō)明：

圖1為本實(shí)用新型中將酸或堿等化學(xué)品的原液量稀釋的裝置的稀釋濃度及對(duì)應(yīng)時(shí)間示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中將酸或堿等化學(xué)品的原液量稀釋的裝置示意圖

圖號(hào)說(shuō)明：

1：高標(biāo)濃度；????2：目標(biāo)濃度；

3：低標(biāo)濃度；????4：水；

5：原液；????????6：目標(biāo)稀釋液；

7：電位滴定儀。