[實用新型]底蓋無效
| 申請號： | 200620136992.1 | 申請日： | 2006-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN200986397Y | 公開（公告）日： | 2007-12-05 |
| 發明（設計）人： | 陳俊霖;蔡慶文;賈世瑋 | 申請（專利權）人： | 力晶半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | F27D5/00 | 分類號： | F27D5/00;F27B17/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 陶鳳波 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 底蓋 | ||
1、一種底蓋，適用于半導體工藝用的爐管，該爐管具有多個注入器及底座，該底蓋配置于該爐管的該底座上，其特征在于，該底蓋包括：
圓板；以及
外環體，配置于該圓板的外緣且向該圓板背向該底座的一面的上方延伸，該外環體具有缺口，該缺口足以容納該些注入器。
2、如權利要求1所述的底蓋，其特征在于，該缺口的兩端點與最外側的兩個注入器間各相隔第一距離與第二距離。
3、如權利要求1所述的底蓋，其特征在于，該缺口的兩端點與該圓板中心的夾角為54度至58度。
4、如權利要求1所述的底蓋，其特征在于，該圓板中央具有開口，而該底蓋還包括內環體，配置于該開口外緣且向該圓板背向該底座的一面的上方延伸。
5、如權利要求4所述的底蓋，其特征在于，該圓板、該外環體與該內環體包括一體成形。
6、如權利要求1所述的底蓋，其特征在于，該圓板與該外環體包括一體成形。
7、如權利要求1所述的底蓋，其特征在于，該底蓋的材料包括石英。
8、一種底蓋，適用于半導體工藝用的爐管，該爐管具有注入器及底座，該底蓋配置于該爐管的該底座上，其特征在于，該底蓋包括：
圓板；以及
外環體，配置于該圓板的外緣且向該圓板背向該底座的一面的上方延伸，該外環體具有缺口，該缺口足以容納該些注入器，該缺口的兩端點與該注入器間各相隔第一距離與第二距離。
9、如權利要求8所述的底蓋，其特征在于，該缺口的兩端點與該圓板中心的夾角為54度至58度。
10.如權利要求8所述的底蓋，其特征在于，該圓板中央具有開口，而該底蓋還包括內環體，配置于該開口外緣且向該圓板背向該底座的一面的上方延伸。
11、如權利要求10所述的底蓋，其特征在于，該圓板、該外環體與該內環體包括一體成形。
12、如權利要求8所述的底蓋，其特征在于，該圓板與該外環體包括一體成形。
13、如權利要求8所述的底蓋，其特征在于，該底蓋的材料包括石英。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于力晶半導體股份有限公司，未經力晶半導體股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200620136992.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
