[實用新型]盤狀磁性靶材PTF的測試裝置無效
| 申請號： | 200620134206.4 | 申請日： | 2006-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN200979591Y | 公開（公告）日： | 2007-11-21 |
| 發明（設計）人： | 廖贊;郭力山;楊亞卓;王彬;楊永剛;孫秀霞 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院;有研億金新材料股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R33/12 | 分類號： | G01R33/12;G01R33/00 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 | 代理人： | 胡福恒 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磁性 ptf 測試 裝置 | ||
【權利要求書】：
1、一種盤狀磁性靶材PTF的測試裝置，它包括靶臺、馬蹄形永磁鐵、霍爾探針；馬蹄形永磁鐵設置靶臺下部，霍爾探針設置在靶臺上部，其特征在于：所述的靶臺下中部一體連接有靶臺支柱，在靶臺的上表面中部設有定位凹孔，在該凹孔內插有校準套。
2、根據權利要求1所述的盤狀磁性靶材PTF的測試裝置，其特征在于：所述的校準套呈圓盤狀、三層、倒臺階狀、一體連接，上層是一個圓壓盤，中層是一個圓定位盤，下層是一個凸柱，該凸柱插入定位凹孔內。
3、根據權利要求1或2的盤狀磁性靶材PTF的測試裝置，其特征在于：在所述的靶臺上一側設置有兩個定位軸承。
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