[實用新型]一種300mm硅片倒片裝置無效
| 申請號： | 200620134109.5 | 申請日： | 2006-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN201017859Y | 公開（公告）日： | 2008-02-06 |
| 發明（設計）人： | 庫黎明;閆志瑞;馮泉林;常青;周旗鋼 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 300 mm 硅片 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種300mm硅片倒片裝置，其特征在于：它包括：花籃固定底座(1)、底座下部設兩根導桿(6)，底座的一側裝一推桿(2)、推桿的下部設支架，支架上設滑動件，滑動件與導桿配合，在底座的兩種花藍之間設有兩個滑移導軌(3)，所述花籃固定底座上有四氟花籃固定銷(4)和PP花籃固定銷〔5〕。
2.按照權利要求1所述的300mm硅片倒片裝置，其特征在于：所述的支架上的滑動件帶有穿孔，穿孔中插有導桿。
3.按照權利要求1或2所述的300mm硅片倒片裝置，其特征在于：所述的滑移導軌設置13個等間距凹槽，兩槽之間的間距與兩花籃的槽間距一致。
4.按照權利要求1所述的一種300mm硅片倒片裝置，其特征在于：所述的推桿的前部設有用于推動硅片沿滑移導軌滑動的豎直部分。
5.按照權利要求1或2所述的300mm硅片倒片裝置，其特征在于：PP花籃是由三個固定銷組成等邊三角形的固定銷固定的。
6.按照權利要求1或2所述的300mm硅片倒片裝置，其特征在于：四氟花籃是以兩個固定銷和一個卡槽(7)固定的。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
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