[實用新型]偏置電流型掃描隧道譜儀及掃描隧道顯微鏡

無效

• 申請號: 200620126683.6
• 申請日: 2006-10-31
• 公開（公告）號: CN200989961Y
• 公開（公告）日: 2007-12-12
• 發明（設計）人: 陸輕鈾
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00;G01N13/12
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司
• 代理人: 何梅生

1.一種偏置電流型掃描隧道譜儀，包括：探針架固定于Z定位器的一端、樣品架固定于基座，或探針架和樣品架的位置互換，探針固定在探針架上，Z定位器的另一端固定于所述基座或固定于另一個位置可調節的基座上使探針指向樣品架上的樣品；其特征在于：電流源的兩極分別連接探針和樣品，并將該探針和樣品間的電壓信號輸入到緩沖器的輸入端，由該緩沖器給出輸出信號。

2.一種偏置電流型掃描隧道顯微鏡，包括：探針架固定于XYZ定位器的一端、樣品架固定于基座，或探針架和樣品架的位置互換；探針固定在探針架上，XYZ定位器的另一端固定于所述基座或固定于另一個位置可調節的基座上使探針指向樣品架上的樣品；其特征在于：電流源的兩極分別連接探針和樣品，并將該探針和樣品間的電壓信號輸入到緩沖器的輸入端，由該緩沖器給出輸出信號。

3.根據權利要求2所述的偏置電流型掃描隧道顯微鏡，其特征在于：所述緩沖器的輸出端連接到反饋控制器的輸入端，由該反饋控制器的輸出端接所述XYZ定位器的Z定位。

4.根據權利要求1或2所述的偏置電流型掃描隧道譜儀或偏置電流型掃描隧道顯微鏡，其特征在于：所述電流源是直流電流源或交流電流源。

5.根據權利要求1或2所述的偏置電流型掃描隧道譜儀或偏置電流型掃描隧道顯微鏡，其特征在于：所述Z定位器或XYZ定位器使用壓電材料制成的定位器。