[實用新型]氣態往復式封存裝置

無效

• 申請號: 200620126456.3
• 申請日: 2006-10-16
• 公開（公告）號: CN200967628Y
• 公開（公告）日: 2007-10-31
• 發明（設計）人: 鄒飛;鄭宗杰
• 申請（專利權）人: 昆山中辰矽晶有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20;B65D90/00;B65D88/74;C02F1/32
• 代理公司: 昆山四方專利事務所
• 代理人: 盛建德;楊明偉

技術領域

本實用新型涉及一種封存裝置，特別是一種氣態往復式封存裝置。

背景技術

惰性氣體封存裝置應用在對環境敏感度極高的純水保存，即周而復始地循環動作進行純水的封存，因此，在每一次取用純水時，便必須由裝置外部補充某一特定體積的惰性氣體來封存，而在補充純水時，又必須排除某一特定體積的惰性氣體至封存裝置外部，甚至在最后微調整封存裝置內部壓力時，仍需再次補充或是排除部分惰性氣體，以達到最終的內壓設定值。而在純水使用率相當頻繁的產業中，如半導體產業生產制程中，為了保持產品的物理、化學、電性等性質，將純水應用在清潔晶圓或是其它組件的情況可說是用量頗大且操作頻繁，因而，純水每次從純水封存裝置進出時，必將造成極大量的惰性氣體的浪費，不但是耗費了資源，更無謂地增加了生產成本。

發明內容

為了克服上述缺陷，本實用新型提供一種氣態往復式封存裝置，該氣態往復式封存裝置能通過往復式的操作以重復利用封存用氣體，使封存用氣體的用量得以大幅降低，以達到節省生產成本。

本實用新型為了解決其技術問題所采用的技術方案是：至少一儲存容器，其由第一上容置空間與第一下容置空間構成，第一上容置空間和第一下容置空間相連通；至少一液位感應裝置，液位感應裝置與儲存容器的內部空間連通；至少一緩沖容器，其由第二上容置空間與第二下容置空間構成，第二上容置空間與第二下容置空間相連通，第二上容置空間與第一上容置空間相通；至少一液體控制裝置，液體控制裝置與緩沖容器相連通。

本實用新型所述的液體控制裝置主要由液體儲存容器、輸出泵及輸入泵組成；輸出泵吸液口與液體儲存容器相通，輸出泵出液口與緩沖容器相通，輸入泵吸液口與第二下容置空間相連通，輸入泵出液口與液體儲存容器相通；輸出泵出液口最好與緩沖容器的第二上容置空間相通，輸入泵出液口最好與液體儲存容器上部相通；所述的第二上容置空間與第一上容置空間通過管道相通。

所述的儲存容器上有一低液位控制點和一高液位控制點，儲存容器的第一下容置空間上設置液體輸入、輸出裝置。

本實用新型還可以在輸出泵與緩沖容器之間設置一殺菌裝置，最好為紫外線殺菌裝置；另外，本實用新型還可以在儲存容器或緩沖容器上設置一氣體壓力感應裝置、氣體補充裝置及氣體排放裝置。

另外，本實用新型還可以增加一液封容器，其通過管體與緩沖容器的第二上容置空間相通，管體開口置于液封容器的液面下。

本實用新型的有益效果是，利用本實用新型可提供惰性氣體與壓控液體在不同液體液壓之變化狀態下，透過可流動于緩沖空間的方式，以達成調整裝置內部壓力至一恒定設定值，不但達到了對液體進行封存的目的，同時使封存用氣體得以重復利用，大大降低封存用氣體的用量，從而大大降低了生產成本。

附圖說明

本實用新型將依照附圖來說明：

圖1是本實用新型氣態往復式封存裝置的示意圖；

1.儲存容器??????????????????????2.第一上容置空間

3.第一下容置空間????????????????4.液位感應裝置

5.緩沖容器??????????????????????6.第二上容置空間

7.第二下容置空間????????????????8.液壓控制裝置

9.液體儲存容器??????????????????10.輸出泵

11.輸入泵???????????????????????12.輸出管體

13.輸入管體?????????????????????14.殺菌裝置

15.低液位控制點?????????????????16.高液位控制點

17.液體輸出裝置?????????????????18.液體輸入裝置

19.氣體壓力感應裝置?????????????20.氣體補充裝置

21.氣體排放裝置????22.液封容器????23.管體。

具體實施方式：

實施例：一種氣態往復式封存裝置，至少一儲存容器1，其由第一上容置空間2與第一下容置空間3構成，第一上容置空間2和第一下容置空間3相連通；至少一液位感應裝置4，液位感應裝置4與儲存容器1的第一下容置空間3連通；至少一緩沖容器5，其由第二上容置空間6與第二下容置空間7構成，第二上容置空間6與第二下容置空間7相連通，第二上容置空間6與第一上容置空間2相通；至少一液體控制裝置8，液體控制裝置8與緩沖容器5相連通。