[實用新型]一種用于光學輔助鍍膜機中離子源的陽極無效
| 申請號： | 200620123907.8 | 申請日： | 2006-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN200949112Y | 公開（公告）日： | 2007-09-19 |
| 發明（設計）人： | 楊松濤 | 申請（專利權）人： | 中國科學院空間科學與應用研究中心 |
| 主分類號： | C23C14/22 | 分類號： | C23C14/22;H01J27/02;H01J37/04;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100084北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 光學 輔助 鍍膜 離子源 陽極 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院空間科學與應用研究中心，未經中國科學院空間科學與應用研究中心許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200620123907.8/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種直寫電子/光電子元器件的微細筆
- 下一篇：零序諧波濾波系統
- 同類專利
- 專利分類
