[實用新型]一種檢測傳送機異常運行的裝置

無效

• 申請號: 200620120912.3
• 申請日: 2006-09-08
• 公開（公告）號: CN200983104Y
• 公開（公告）日: 2007-11-28
• 發明（設計）人: 周曙華;顧瑤
• 申請（專利權）人: 和艦科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: G05B19/048
• 分類號: G05B19/048;G05B19/05;H01L21/00;C23C16/00
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司
• 代理人: 薛平

技術領域

本實用新型涉及檢測傳送機的技術領域，且特別涉及一種檢測傳送機異常運行的裝置。

背景技術

在半導體工藝中，用于常壓化學氣相沉積(ATMOSPHERICPRESSURE?CHEMICAL?VAPOR?DEPOSITION以下簡稱APCVD)的機臺WJ1500或WJ1000，這兩種機臺為直線(Linear?Technology)傳遞的沉積方式，由四支噴嘴將氣體吹至芯片表面以達到沉積目的，因為常壓及線性傳遞沉積，因此氣流的平衡度對沉積的均勻度極為重要，因此測試氣流的平衡度時，需芯片傳至噴嘴下方后，停止傳送帶，然后開氣體沉積，以測試抽風及噴嘴吹出氣體的左右平衡，通過測試是否可達生產的工藝需求，但因此若在生產中發生傳送帶因電機或傳送機構異常導致控制電源跳脫，則機臺無法檢測并立即將氣體關閉，導致芯片停于噴嘴下方，而沉積仍未停止，芯片因局部厚度過高而報廢。此設計在檢測當傳送帶的控制電源發生異常跳脫時，可立即觸發互鎖裝置(Facilities?Interlock)，將沉積氣體關閉，避免芯片局部區域過厚而直接報廢，本設計旨在解決WJ-1500/1000在生產中存在的此風險，以降低產品報廢率。

發明內容

為了克服目前傳送機異常運行導致電源跳閘的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種檢測傳送機異常運行的裝置。

一種檢測傳送機異常運行的裝置，包括程序邏輯控制器(Programmable?Logic?Controller以下簡稱PLC)，互鎖裝置(FacilitiesInterlock)，跳閘開關CB10，繼電器CR9，繼電器CR9一端與跳閘開關CB10相連，另一端與程序邏輯控制器輸出單元1(Programmable?LogicController?Output?Module以下簡稱PLC?Output?Module)相連，不經過任何互鎖裝置(Facilities?Interlock)使得PLC及時啟動系統關閉氣源，其特點是，還包括繼電器CR，通過在跳閘開關CB10之后，繼電器CR9之前并入該繼電器CR，將跳閘開關CB10的信號通過設備的互鎖裝置(Facilities?Interlock)(該信號在本系統內是閑置未使用)送入程序邏輯控制器的輸入單元2(Programmable?Logic?Controller?Input?Module簡稱PLC?Input?Module)，及時啟動系統關閉氣源，同時系統通過繼電器CR9將程序邏輯控制器的輸出單元1的傳送馬達的信號引入傳送帶控制回路(Belt?Control?Loop)，達到控制皮帶開或關的功能。

上述檢測傳送機異常運行的裝置與機臺WJ1500或WJ1000電連接。

本實用新型的有益效果是，在檢測到傳送帶的控制電源發生異常跳脫時，可立即觸發互鎖裝置(Facilities?Interlock)，將沉積氣體關閉，避免芯片局部區域過厚而直接報廢，本設計旨在解決WJ1500或WJ1000傳送機在生產中存在的此風險，以降低產品報廢率。

下面結合附圖，對本實用新型的具體實施作進一步的詳細說明。對于所屬技術領域的技術人員而言，從對本實用新型的詳細說明中，本實用新型的上述和其它目的、特征和優點將顯而易見。

附圖說明

圖1是傳統的程序邏輯控制器輸出單元及傳送電源電路圖。

圖2是傳統的傳送馬達控制器電路圖。

圖3是本實用新型改進后的傳送馬達控制器電路及程序邏輯控制器輸出單元和輸入單元電路圖。

具體實施方式

參照圖1，該圖傳統的程序邏輯控制器輸出單元1及傳送電源電路圖。在傳統的傳送電源電路中安置繼電器CR9，對傳送電源電路進行保護。