[實用新型]渦旋式無油真空泵

無效

• 申請號: 200620120484.4
• 申請日: 2006-07-04
• 公開（公告）號: CN200978802Y
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發明（設計）人: 陳林;仝太前;查濟瑞;秦家慶;鮮偉
• 申請（專利權）人: 川北科技(北京)有限公司
• 主分類號: F04C18/02
• 分類號: F04C18/02;F04C27/00;F04C25/02
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司
• 代理人: 王德楨

技術領域

本實用新型涉及一種渦旋式無油真空泵。

背景技術

渦旋式真空泵是渦旋式壓縮機演化而來的，國內上個世紀90年代初，從美國引進了此項技術和專用加工設備，制造壓縮機出現的問題是由于沒有很好的解決密封和間隙的問題，第一種現象是，間隙太小，由于摩擦力太大，零件因熱變形而將齒折斷或將主支撐軸承損壞而折齒，真空泵更是此類現象，因為無油，磨損干涉或泄漏比壓縮機更為嚴重。我們知道大氣壓約為10⁵Pa，一般壓縮機能達到10⁶Pa也就足夠了，所以只壓縮一個數量級而且還是在有油潤滑和密封狀態下，而真空泵一般要求達到1Pa以下，因此要抽到5個數量級以上，還是在無油狀態下，所以難度更大。在研究過程中，因為沒有很好的解決密封和間隙問題而折齒或引起極限真空度達不到要求而停止研究，所以，這些問題已成為亟待解決的難題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種密封性好，且具有自動補償動靜盤間隙功能的渦旋式無油真空泵。

本實用新型是通過以下技術方案來實現的：

一種渦旋式無油真空泵，包括由主驅動軸驅動的動盤，和與動盤匹配的靜盤，其中動盤齒與靜盤齒相配合，所述動盤齒和靜盤齒的形線端面上分別設有與形線相匹配的密封槽，在所述的密封槽中設置具有彈性的密封條；在所述的動盤齒和靜盤齒的表面設置一層減磨層。

所述的密封條由兩層材質軸向拼接組合而成，由盤心向外的內層是彈性耐高溫層，外層是耐磨自潤滑層。

所述的密封條內層是耐高溫的高彈性氟橡膠層，外層是含銅聚四氟乙烯層。

所述的減磨層是一陶瓷層。

本實用新型與現有技術相比具有以下優點：

1、本實用新型在動盤齒和靜盤齒的形線端面上設置密封槽，在密封槽內鑲嵌具有兩種復合材料制作的組合式密封條，利用其彈性變形來自動補償間隙，使外層一直壓緊端面摩擦面，從而保證動盤和靜盤的端面密封效果。

2、本實用新型在動盤齒和靜盤齒的表面進行陶瓷化處理，使其達到一定的硬度要求，不但能提高表面強度而且使齒面具有一定的韌性，以達到調整徑向間隙的目的；另外，由于材質的原因，使得動靜盤本身有許多氣孔，陶瓷層能有效的密封，保證工作腔的真空度。

附圖說明

圖1是本實用新型的剖視放大示意圖；

圖2是本實用新型動盤的端面示意圖；

圖3是本實用新型靜盤的端面示意圖；

圖4是動盤齒的橫截面結構示意圖；

圖5是本實用新型密封條的端面示意圖；

圖6是圖5中A向橫截面示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：

實施例

如圖所示，本實用新型所述的渦旋式無油真空泵，包括由主驅動軸1驅動的動盤2，和與動盤相匹配的靜盤3、31，其中動盤齒4與靜盤齒5相配合，所述的動盤齒4和靜盤齒5的形線斷面上分別設有與形線相匹配的密封槽6，其中靜盤齒的橫截面結構同圖4所示的動盤齒的橫截面的結構；在所述的密封槽6中設置具有彈性的耐高溫耐磨密封條7，所述的密封條由兩層材質縱向拼接組合而成的，外層是具有耐磨自潤滑的含銅聚四氟乙烯層8；內層是彈性耐高溫的氟橡膠層9，利用其內層彈性變形來自動補償間隙，使外層一直壓緊端面摩擦面，從而保證動盤和靜盤的端面密封效果。

在所述的動盤齒4和靜盤齒5的形線表面設置一層陶瓷層10，不但增強其耐磨性，還能有效的保證工作腔的真空度。