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[實用新型]長壽命離子源中的間熱式陰極固定裝置無效

專利信息
申請號: 200620113057.3 申請日: 2006-04-24
公開(公告)號: CN200953336Y 公開(公告)日: 2007-09-26
發明(設計)人: 伍三忠;戴習毛;易文杰;許波濤 申請(專利權)人: 北京中科信電子裝備有限公司
主分類號: H01J37/08 分類號: H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/425;C30B31/22
代理公司: 北京中海智圣知識產權代理有限公司 代理人: 曾永珠
地址: 100036北京市海淀區復興路*** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關鍵詞: 壽命 離子源 中的 間熱式 陰極 固定 裝置
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