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[實用新型]一種無油高壓倍加器無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200620113051.6 申請日: 2006-04-24
公開(公告)號: CN2914324Y 公開(公告)日: 2007-06-20
發(fā)明(設(shè)計)人: 孫雪平;劉仁杰;唐景庭;姚琛 申請(專利權(quán))人: 北京中科信電子裝備有限公司
主分類號: H01L21/265 分類號: H01L21/265;H01L21/425;H01J37/317
代理公司: 北京中海智圣知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人: 曾永珠
地址: 100036北京市海淀區(qū)復興路*** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 高壓 倍加
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