[實(shí)用新型]串聯(lián)式大氣噴射真空泵

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200620108036.2
• 申請(qǐng)日: 2006-09-18
• 公開（公告）號(hào): CN200978842Y
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方馭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 方馭
• 主分類號(hào): F04F5/54
• 分類號(hào): F04F5/54
• 代理公司: 杭州九洲專利事務(wù)所有限公司
• 代理人: 張繼鋒

1、一種串聯(lián)式大氣噴射真空泵，它至少包括一聯(lián)接于前級(jí)真空泵進(jìn)氣口的大氣噴射真空泵，其特征是：該大氣噴射真空泵(5)的文丘里管出氣口(54)與其聯(lián)接前級(jí)真空泵進(jìn)氣口(1)段之間設(shè)置有至少三通聯(lián)接至少一大通道閥門(3)，并與氣室(52)進(jìn)氣口和被抽真空系統(tǒng)的管接口(2)段之間設(shè)置的至少三通相互聯(lián)通。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的串聯(lián)式大氣噴射真空泵，其特征是：所述的大氣噴射真空泵(5)至少有二臺(tái)并相互串聯(lián)，后一臺(tái)大氣噴射真空泵的文丘里管出氣口(54)串接于前一臺(tái)大氣噴射真空泵的氣室(52)進(jìn)氣口。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的串聯(lián)式大氣噴射真空泵，其特征是：大氣噴射真空泵(5)的文丘里管出氣口(54)與其聯(lián)接前級(jí)真空泵進(jìn)氣口段之間設(shè)置有至少三通聯(lián)接至少一大通道閥門(3)，并與后一臺(tái)大氣噴射真空泵氣室進(jìn)氣口和被抽真空系統(tǒng)的管接口(2)段之間設(shè)置的至少三通相互聯(lián)通；每臺(tái)大氣噴射真空泵(5)中帶有噴嘴(53)的進(jìn)氣管上各設(shè)置有大氣進(jìn)口閥(4)。