[實用新型]一種用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200620093922.2 | 申請日： | 2006-11-03 |
| 公開（公告）號： | CN200982932Y | 公開（公告）日： | 2007-11-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 譚軍;張磊;張廣平;謝天生 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院金屬研究所 |
| 主分類號： | G01N1/32 | 分類號： | G01N1/32;G01N23/203;G01N13/10 |
| 代理公司： | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 | 代理人： | 張志偉 |
| 地址： | 110016遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 離子束 加工 樣品 界面 實現(xiàn) 散射 表征 裝置 | ||
1.一種用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的裝置，具有聚焦離子束系統(tǒng)、樣品臺，其特征在于：所述樣品臺為主傾轉(zhuǎn)臺、副傾轉(zhuǎn)臺形成的雙傾轉(zhuǎn)樣品臺，在聚焦離子束系統(tǒng)主傾轉(zhuǎn)臺上安裝與聚焦離子束系統(tǒng)主傾轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)向相同的聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺。
2、按照權(quán)利要求1所述的用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的裝置，其特征在于：所述聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺通過傳動軸安裝在聚焦離子束系統(tǒng)主傾轉(zhuǎn)臺，傳動軸上安裝驅(qū)動聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺傾轉(zhuǎn)的齒輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的裝置，其特征在于：樣品采用碳導電膠固定在樣品托上，樣品托通過與聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺連接的銷一端插裝固定，與聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺連接的銷另一端用緊固螺栓固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的裝置，其特征在于：所述聚焦離子束系統(tǒng)為雙束聚焦離子束系統(tǒng)。
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