[實用新型]一種用于二次真空系統(tǒng)的機械安全閥無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200620079440.1 | 申請日： | 2006-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN200952588Y | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 游志明;吳德忠;牛志偉;聶增森;馬向利;郝超英;楊曉天 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院近代物理研究所 |
| 主分類號： | F16K17/02 | 分類號： | F16K17/02;F16K17/04;F16K17/12;F16K51/02 |
| 代理公司： | 蘭州振華專利代理有限責任公司 | 代理人： | 張晉 |
| 地址： | 730000*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 二次 真空 系統(tǒng) 機械 安全閥 | ||
【說明書】：
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