[實用新型]等離子體發生裝置無效
| 申請號： | 200620068363.X | 申請日： | 2006-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN2867790Y | 公開（公告）日： | 2007-02-07 |
| 發明（設計）人： | 李衎 | 申請（專利權）人： | 李衎 |
| 主分類號： | H05H1/40 | 分類號： | H05H1/40;H05H1/50;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 合肥誠興知識產權代理有限公司 | 代理人： | 湯茂盛 |
| 地址： | 230022安徽省合*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 發生 裝置 | ||
【說明書】：
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