[實(shí)用新型]大尺寸石墨電極

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200620053159.0
• 申請(qǐng)日: 2006-12-18
• 公開（公告）號(hào): CN200990717Y
• 公開（公告）日: 2007-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周大良
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
• 主分類號(hào): H05H1/34
• 分類號(hào): H05H1/34;C23C16/513
• 代理公司: 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司
• 代理人: 馬強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種制備太陽(yáng)能電池減反射膜的石墨電極，進(jìn)一步是指用于臥式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積設(shè)備的石墨電極。

背景技術(shù)

光伏能源作為可再生能源當(dāng)中最具潛力的新能源，近年來(lái)受到世界各國(guó)的普遍關(guān)注。太陽(yáng)能電池的研究與開發(fā)越來(lái)越受到世界各國(guó)的廣泛重視。歐、美、日以及印度等國(guó)家紛紛推出自己的光伏發(fā)展計(jì)劃。太陽(yáng)電池的光電轉(zhuǎn)換效率高低與減反射膜形成的好壞直接相關(guān)。而隨著近五年世界光伏產(chǎn)品以超過(guò)30％速率增長(zhǎng)，產(chǎn)能的提高是成為了亟需解決的問(wèn)題。

提高產(chǎn)能涉及到一些相應(yīng)問(wèn)題的解決：(1)怎樣布置電極板之間的距離，其大小直接決定爐腔的大小；(2)電極之間絕緣處理，以及同電位電極怎樣保證良好的接觸；(3)高頻怎樣引入到電極；(4)提高基片(產(chǎn)品)的數(shù)量后，相應(yīng)電極的重量大大提高，怎樣減輕重量；(5)怎樣固定基片才能保證基片與電極的良好接觸，同時(shí)又保證基片固定可靠。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提出一種大大尺寸石墨電極，它可以在爐腔容積增加很小的情況下大大提高產(chǎn)能，并保證異電位電極之間絕緣以及同電位電極良好的接觸，同時(shí)在石墨電極增加的情況下電極重量不增加，保證基片固定可靠，接觸良好。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案是，所述大尺寸石墨電極有n(n為9、11、13、15、17中的任一數(shù))片分立豎置且相互平行的石墨電極片，所述各石墨電極片的上、下兩側(cè)分別用至少二個(gè)絕緣瓷柱連接而使其成為整體，奇數(shù)位石墨電極片組成一個(gè)電極組而偶數(shù)位石墨電極片組成另一個(gè)電極組；該兩個(gè)電極組中的一個(gè)電極組的各石墨電極片兩端下部的連接端各通過(guò)一個(gè)瓷螺栓同相應(yīng)的石墨支座成導(dǎo)電連接，另一個(gè)電極組的各石墨電極片兩端上部的連接端分別通過(guò)一個(gè)瓷螺栓柱同相應(yīng)的石墨連接塊成導(dǎo)電連接，所述各石墨電極片上設(shè)有用于固定基片的石墨螺釘，所述石墨支座和石墨連接塊上設(shè)有電源電極接入孔。

以下對(duì)本實(shí)用新型做出進(jìn)一步說(shuō)明。

如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型的大尺寸石墨電極有n(n為9、11、13、15、17中的任一數(shù))片分立豎置且相互平行的石墨電極片1，所述各石墨電極片1的上、下兩側(cè)分別用至少二個(gè)絕緣瓷柱3連接而使其成為整體，奇數(shù)位石墨電極片(如圖2中左起第1、3、5、7、9、11、13片)組成一個(gè)電極組而偶數(shù)位石墨電極片(如圖2中左起第2、4、6、8、10、12片)組成一個(gè)電機(jī)組；該兩個(gè)電極組中的一個(gè)電極組的各石墨電極片(如圖2中左起第1、3、5、7、9、11、13片)兩端下部的連接端2、10各通過(guò)一個(gè)瓷螺栓11、12同相應(yīng)的石墨支座7、13成導(dǎo)電連接，另一個(gè)電極組的各石墨電極片(如圖2中左起第2、4、6、8、10、12片)兩端上部的連接端14、15分別通過(guò)一個(gè)瓷螺栓柱6、16同相應(yīng)的石墨連接塊4(圖2中只畫出了一個(gè))成導(dǎo)電連接；如圖4所示，所述各石墨電極片1上設(shè)有用于固定基片的石墨螺釘9，所述石墨支座7和石墨連接塊4分別設(shè)有電源電極接入孔8、5(參見圖3)。

為了減輕整個(gè)電極的重量，如圖1所示，可在除了兩外側(cè)石墨電極片(如圖2所示的左起第一片和右起第一片)之外的石墨各電極片上開設(shè)通孔17。

本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)原理是，各石墨電極片1用絕緣瓷柱3連成整體，可實(shí)現(xiàn)其相互間的絕緣連接；在所述各石墨電極片上開設(shè)通孔17，可大大減輕電極重量且所占空間不大，也不影響基片放電；所組成的兩個(gè)電極組中，一個(gè)電極組為高電位而另一個(gè)電極組為低電位，并且高電位電極片與低電位電極片交替排列，該多片結(jié)構(gòu)可使產(chǎn)能大大提高；實(shí)際使用時(shí)，將本電極裝置安裝在設(shè)備的反應(yīng)室內(nèi)，通過(guò)反應(yīng)室尾部?jī)筛饘賹?dǎo)體將電源經(jīng)所述接入孔5、8引入石墨電極。

由以上可知，本實(shí)用新型為一種大尺寸石墨電極，它可大大提高產(chǎn)能，并保證異電位電極之間的絕緣以及同電位電極良好的接觸，同時(shí)在石墨電極片增加的情況下電極重量不增加，保證基片固定可靠、接觸良好。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型一種實(shí)施例正視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1所示裝置的A-A向剖視結(jié)構(gòu)；

圖3是圖1所示裝置的左視結(jié)構(gòu)；

圖4是圖1中C-C向剖視結(jié)構(gòu)(石墨支座)未畫出。

在上述附圖中：

1-石墨電極片，???????2、10-連接端，?????????3-絕緣瓷柱，

4-石墨連接塊，???????5、8-電源電極接入孔，??6、16-瓷螺栓，

7、13-石墨支座，?????9-石墨螺釘，???????????11、12-瓷螺栓，