[實用新型]一種光纖連接處功率自動檢測裝置

無效

• 申請號: 200620049446.4
• 申請日: 2006-12-22
• 公開（公告）號: CN200989995Y
• 公開（公告）日: 2007-12-12
• 發明（設計）人: 王健;孫剛;李瓊
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B6/42
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本實用新型屬于功率檢測領域，尤其涉及光刻系統中光纖連接處的激光功率自動檢測裝置。

背景技術

在現有的光刻機產品線上，激光從激光發生器模塊射出，經過光纖耦合進入光纖連接盤(FCP)，再經過耦合進入光纖直至光學處理模塊。而進入FCP的激光功率對于光刻機的生產應用、制造和維修都是非常重要的考量參數。如果要進行激光功率檢測，則需要拆下光纖，用激光功率計測量，等測量完畢用酒精棉球擦洗干凈后，再安裝回原處。很明顯用這種測量方法會導致以下不良結果：1)污染光纖頭；2)導致不必要的激光損耗；3)人為的操作增加了測量過程的不可預測性，因而引入了測量結果的不一致性；4)光刻機整體性能下滑。

實用新型內容

本實用新型需要解決的技術問題在于提供一種光纖連接處功率自動檢測裝置，以使得光纖功率測量實現自動化。

本實用新型解決技術問題的技術方案如下：

一種光纖連接處功率自動檢測裝置，其設置在光纖與光纖連接盤連接處，其特征在于，包括Y型激光耦合器和光敏二極管，所述激光耦合器的輸入端與光纖輸出端相連，激光耦合器輸出功率大的一個輸出端與光纖連接盤的輸入端相連，另一輸出端與光敏二極管相連，所述激光耦合器的分束比與光敏二極管的功率放大倍數相適應。

所述激光耦合器的分束比大于97∶3。可以為98∶2或99∶1。

本實用新型的工作原理：由于在激光進入光纖連接盤之前，首先進入一Y型激光耦合器(Coupler)，該耦合器具有較大的分束比，絕大部分的激光能量經過該耦合器的一分支進入光纖連接盤，小部分激光能量經過另一分支進入一高靈敏度的光敏二極管(PhotoDiode)，該光敏二極管測量得的功率放大一定的倍數(由分束比決定)，即得到實際進入FCP的激光功率。應用本實用新型自動檢測裝置雖然會損失極少的部分激光能量，然而在實際光刻系統中這點損失是可以接受的。

由以上公開的技術方案可知，采用本實用新型檢測裝置不需拆下光纖即可得到檢測結果，避免了人工操作存在的上述缺陷，提高了光刻機整體性能，可以實現光纖功率測量自動化。

附圖說明

圖1是本實用新型結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖進一步說明本實用新型。

如圖1所示，本實用新型光纖連接處功率自動檢測裝置，其設置在光纖1與光纖連接盤2連接處，包括Y型激光耦合器3和光敏二極管4，所述激光耦合器3的輸入端301與光纖1輸出端相連，激光耦合器3輸出功率大的一個輸出端302與光纖連接盤2的輸入端相連，另一輸出端303與光敏二極管4相連，所述激光耦合器3的分束比與光敏二極管4的功率放大倍數相適應。

如圖所示，從激光器模塊5出發的激光，經過光纖1，在進入光纖連接處之前，首先進入一Y型激光耦合器3，該耦合器3的分束比較大，比如為99∶1(或98∶2)，99％(或98％)的激光能量經過上述耦合器的一分支302進入光纖連接處，1％(或2％)的激光能量經過另一分支進入高靈敏度的光敏二極管4，該光敏二極管4測量得的功率放大99＝99∶1(或49＝98∶2)倍，即得到實際進入光纖連接處的激光功率。

該Y型激光耦合器3和光敏二極管4還可以和前置放大功能模塊、ADC模塊形成一集成器件，利用該集成器件，計算機能實時監測進入光纖連接處的激光功率；從而可以實現自動化；避免了人工操作，提高光刻機整體性能。

該Y型激光耦合器3和光敏二極管4還可以集成于同一集成器件6上，也可以放在光纖連接盤內部，而光敏二極管的顯示部分放在光纖連接盤2的一個窗口上，以便讀數。

利用本實用新型，可以實時監測進入光纖連接盤2的激光光強；而且光敏二極管讀取的光強值可以經過ADC模塊數字化，便于通過計算機實現自動化操作。

以上對本實用新型的實施方式作了詳細說明。在具體的實施過程中可對本實用新型進行適當的改進，以適應具體情況的具體需要。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。