[實用新型]一種散熱管固定機構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200620049266.6
• 申請日: 2006-12-20
• 公開（公告）號: CN200986820Y
• 公開（公告）日: 2007-12-05
• 發(fā)明（設計）人: 胡文祥
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G12B15/00
• 分類號: G12B15/00;H01L21/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導體制造領(lǐng)域，特別涉及一種用以固定散熱管的散熱管固定機構(gòu)。

背景技術(shù)

在半導體制程中，刻蝕、化學或物理氣相沉積等工序均需在一定的溫度下進行，此時就需要加熱系統(tǒng)來確保工藝溫度以進行上述工序，同時也需要冷卻系統(tǒng)來維持加熱系統(tǒng)的正常運作以及配合加熱系統(tǒng)維持工藝溫度。液態(tài)循環(huán)冷卻以其高效、均勻和無噪音的散熱效果成為上述制程中重要的冷卻方式，液態(tài)循環(huán)冷卻是利用液體的循環(huán)源源不斷的將發(fā)熱體的熱量帶出機臺并通過設置在機臺外的散熱管將熱量散逸出去，通常散熱管以圓環(huán)狀或之字狀形式排布且固定在機臺內(nèi)外部，以將熱量充分吸收并散選出去。

參見圖1，顯示了現(xiàn)有的散熱管固定機構(gòu)1的剖視圖，散熱管固定機構(gòu)1包括螺釘10、焊接在散熱管2上的固定塊11和開設在機臺3上的螺孔12，將螺釘10穿過固定塊11上的通孔110且與螺孔12旋合，進而將散熱管2固定在機臺3上。但是，上述散熱管2的固定方式當在散熱管2熱脹冷縮時，螺釘10與螺孔12會因熱脹冷縮所產(chǎn)生的應力發(fā)生一定的形變，長期下來，會造成螺釘10與螺孔12的松脫；另外散熱管2熱脹冷縮所產(chǎn)生的應力也會作用在固定塊11上，長此以往會使固定塊11從散熱管2上剝離下來，就可能導致散熱管2破裂內(nèi)部的液體流出污染整個機臺3。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種散熱管固定機構(gòu)，通過所述散熱管固定機構(gòu)可避免散熱管松脫或破裂。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：一種散熱管固定機構(gòu)，其包括依次由螺頭、連結(jié)部和開設有螺紋的固定部連接而成的緊固件、開設在機臺上且與該固定部匹配的螺孔及多個設置在散熱管上且開設有通孔的連接塊，其中，每一連結(jié)部外均環(huán)設一彈性件。

在上述的散熱管固定機構(gòu)中，該固定部的直徑小于該連結(jié)部的直徑。

在上述的散熱管固定機構(gòu)中，該緊固件為螺栓。

在上述的散熱管固定機構(gòu)中，該通孔的直徑略大于連接部的直徑。

在上述的散熱管固定機構(gòu)中，該彈性件為彈簧或彈性塑膠。

與現(xiàn)有的無彈性緩沖的散熱管固定機構(gòu)相比，本實用新型采用彈性件緩沖了散熱管熱脹冷縮所產(chǎn)生的應力，避免了由于散熱管熱脹冷縮所造成的散熱管脫離機臺或散熱管破裂冷卻液體污染機臺。

附圖說明

本實用新型的散熱管固定機構(gòu)由以下的實施例及附圖給出。

圖1為現(xiàn)有的散熱管固定機構(gòu)剖視圖；

圖2為本實用新型的散熱管固定機構(gòu)剖視圖；

圖3為本實用新型的散熱管固定機構(gòu)固定散熱管的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下將對本實用新型的散熱管固定機構(gòu)作進一步的詳細描述。

參見圖2和圖3，本實用新型的散熱管固定機構(gòu)4包括多個緊固件40、彈性件41、多個設置在散熱管2上且開設有通孔420的連接塊42和開設在機臺3上螺孔43。在本實施例中，緊固件40、連接塊42和螺孔43三者成套裝配。

緊固件40由螺頭400、連結(jié)部401和固定部402依次連接構(gòu)成，其中，固定部402的直徑小于連結(jié)部401的直徑且固定部402上開設有螺紋，該連結(jié)部401外環(huán)設彈性件41。在本發(fā)明的較佳實施例中，緊固件40是螺栓，彈性件41是彈簧。

以下結(jié)合圖2和圖3，詳述本實用新型的將固定散熱管2安裝到機臺3上的過程，首先，將散熱管2放置在機臺3上預裝設散熱管2的位置，且將固定塊42上的通孔420與機臺3上對應的螺孔43對準；然后，將緊固件40的固定部402和連結(jié)部401相繼穿過固定塊42上的通孔420，最后將固定部402旋合在螺孔43上，如此即完成了散熱管2的安裝固定。

當散熱管2因受熱或受冷而產(chǎn)生變形時，由變形所產(chǎn)生的應力通過環(huán)設在連結(jié)部401外的彈性件41的緩沖而釋放掉，避免了該應力作用在緊固件40和螺孔43上而使兩者之間產(chǎn)生松脫，另外又避免了該應力作用在固定塊42上而使固定塊42從散熱管2上剝離造成散熱管2破裂。