[實用新型]晶體生長系統中的可旋轉多坩堝支撐裝置

無效

• 申請號: 200620048051.2
• 申請日: 2006-11-22
• 公開（公告）號: CN200978306Y
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發明（設計）人: 萬尤寶;劉俊星
• 申請（專利權）人: 嘉興學院;嘉興市晶英光電子技術有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30;C30B11/00;C30B35/00
• 代理公司: 上海開祺知識產權代理有限公司
• 代理人: 李蘭英

1、一種晶體生長系統中的可旋轉多坩堝支撐裝置，包括電源，升降電機，與升降電機連接的引下裝置，與引下裝置連接的升降臺，以及位于升降臺上的坩堝導向管支架和導向管支架上的坩堝導向管，其特征在于：每個導向管支架的下端設置有旋轉軸，旋轉軸貫穿升降臺，旋轉軸下端伸出升降臺的部分分別連接有互相嚙合的齒輪，其中一個旋轉軸比其它旋轉軸長，該較長旋轉軸上的齒輪通過聯軸器連接一固定在升降臺上的旋轉電機。

2、如權利要求1所述的晶體生長系統中的可旋轉多坩堝支撐裝置，其特征在于：所述的旋轉電機和電源之間連接有數字變頻器。

3、如權利要求1所述的晶體生長系統中的可旋轉多坩堝支撐裝置，其特征在于：所述的導向管支架和導向管之間設置有緊固裝置。

4、如權利要求3所述的晶體生長系統中的可旋轉坩堝支撐裝置，其特征在于：所述緊固裝置為螺釘緊固件或固定彈簧片。

5、如權利要求1所述的晶體生長系統中的可旋轉多坩堝支撐裝置，其特征在于：導向管是一根完整的管。